微型真空探針臺是一款專門用于材料電學(xué)表征和測量的微型桌面型電學(xué)測量臺，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)性能表征和測量，還可以在真空、氣氛環(huán)境下對材料進行電學(xué)測量評估，是實驗室測量薄膜材料電學(xué)材料bibei工具，廣泛用于高校、科研、航天航空、軍工院所等領(lǐng)域。
功能特點
1、無人機外觀設(shè)計開發(fā)，讓低溫探針臺更加小巧精密；
2、XYZ三維移動平臺的開發(fā)，位移最小分辨率10um以下；
3、電聲制冷機制冷加熱一體化平臺應(yīng)用開發(fā)；
4、液氮制冷加熱一體化平臺應(yīng)用開發(fā)；
5、利用機械彈性設(shè)計，低溫環(huán)境下也有彈性，避免在探針壓薄膜樣品是損壞薄膜；
6、實現(xiàn)-160℃~450℃的制冷和加熱測量環(huán)境，控溫精度達到±0.5℃；
7、采用1000X放大鏡顯微鏡設(shè)計，有利于實時觀察樣品的測量狀態(tài)；
8、廣泛用于復(fù)雜、高速器件的精密電器測量，可靠性高；
9、高低溫平臺、測量夾具、測量軟件等集成于一體，讓操作變得簡單；
10、可以通過USB傳輸數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)格式為Excel格式。
應(yīng)用：晶圓、芯片、LED測試、場晶體管、IGBT、分立器件等測試類型：IV/CV測試、RF測試、光電測試等搭配儀器：吉時利2400系列、4200系列、安捷倫B2900系列、1500系列等特點：超高真空環(huán)境、避免氧化、結(jié)霜，77K-675K溫度測試范圍，外置探針臂操作更穩(wěn)定、精準(zhǔn)，可兼容不同類型顯微鏡滿足不同觀察要求、可滿足光譜測試、液氮開循環(huán)制冷，降低研發(fā)成本，模塊化設(shè)計、后期可無縫升級配置。
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