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勻膠機(jī)是在旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。

選購(gòu)技巧
從其原理來(lái)說(shuō)，可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)

旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速大。

真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。

材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對(duì)于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對(duì)于溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。