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468次FWS－1000型ICP-AES法同時測定 工業(yè)硅、高純硅中Fe、Ca、P、B、Na、Ti等十七個雜質(zhì)元素 摘要： 本文研究了ICP－AES法測定工業(yè)硅及高純硅中雜質(zhì)元素的具體測試方法，該方法對產(chǎn)品質(zhì)量控制及檢驗雜質(zhì)元素含量，具有可操作性和很好地應(yīng)用價值。 關(guān)鍵詞： ICP-AES、工業(yè)硅、高純硅、雜質(zhì)元素測定
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