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近日，中國儀器儀表學(xué)會分析儀器分會名譽(yù)副理事長劉長寬、副理事長曹以剛、秘書長吳愛華、秘書長助理李玉琛、副秘書長清華大學(xué)邢志及分析測試百科網(wǎng)等7位專家老師、媒體到訪聚束科技（北京）有限公司（以下簡稱“聚束科技”）走訪交流?？疾靾F(tuán)的老師們在聚束科技總經(jīng)理李帥的帶領(lǐng)下參觀了公司的辦公場所及生產(chǎn)車間，并與相關(guān)人員圍繞榮獲“朱良漪分析儀器創(chuàng)新獎”的高通量（場發(fā)射）掃描電鏡NavigatorSEM-100的產(chǎn)品特點(diǎn)、功能、理念及設(shè)計(jì)初衷進(jìn)行了溝通交流。
會上，李帥著重介紹了公司的發(fā)展現(xiàn)狀及未來的產(chǎn)品研發(fā)計(jì)劃，他提到了新機(jī)型高通量（場發(fā)射）掃描電子顯微鏡NavigatorSEM-100+ ,配備新型電子槍，電子束落點(diǎn)能量范圍可達(dá)30keV，涵蓋絕大多數(shù)掃描電鏡落點(diǎn)能量需求范圍。分辨率可達(dá)1.0nm (15keV下),較大的提高了產(chǎn)品分辨率。且新機(jī)型在保證1-3kV低加速電壓下可獲得1.5nm高分辨率的同時(shí)，仍能保持1‰以下的低圖像畸變。
目前，聚束科技NavigatorSEM系列高通量（場發(fā)射）掃描電鏡已有一定的裝機(jī)量，客戶分布在半導(dǎo)體、生命科學(xué)、地質(zhì)油氣、材料科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域，但仍然希望能開發(fā)更多新的應(yīng)用領(lǐng)域。
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2025第十屆廣東真空工業(yè)展覽會
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