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探針輪廓儀(臺(tái)階儀)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 鉑悅儀器(上海)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 上海市
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2015/11/21 13:00:00
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1414

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Dektak 8臺(tái)階式探針輪廓儀,結(jié)構(gòu)緊湊,可提供很高的重復(fù)性和精度。*的X–Y方向定位系統(tǒng)可移動(dòng)到8 x 8 inch區(qū)域的任何位置。它不僅能測(cè)量臺(tái)階高度和表面紋理,還能測(cè)量金屬蝕刻速率的均勻性、焊點(diǎn)高度、纖維光學(xué)元件和顯微透鏡。全程程序控制的Dektak 8系統(tǒng)對(duì)于MEMS,納米技術(shù)和半導(dǎo)體應(yīng)用都非常方便。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

技術(shù)參數(shù)

 

臺(tái)階高度重復(fù)性: 7.5Å,1σ在1um標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階上
zui大晶圓尺寸:200mm
zui大樣品厚度:25.4mm (1 in.)
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn):zui多可達(dá)60,000數(shù)據(jù)點(diǎn)
掃描長(zhǎng)度范圍:標(biāo)配zui大50mm
垂直范圍:標(biāo)配262um;可選1mm
zui大垂直分辨率:1Å (6.55微米垂直范圍下)

 

主要特點(diǎn)

 

1. 臺(tái)階高度測(cè)量重復(fù)性高
2. 是功能zui為強(qiáng)大的探針輪廓儀,可zui大限度的滿足各種應(yīng)用需要
3. 簡(jiǎn)單易用
4. 作為一款桌面型輪廓儀,掃描范圍可達(dá)200mm

 

 


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