量程0-0.5sccm和0-5000slpm
200:1的量程比
內(nèi)置98種氣體
10ms快速響應(yīng)時間
優(yōu)于1%的精度

● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時間快 僅需10ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體，并存儲20種混合氣

技術(shù)參數(shù) ：

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請參考背面氣體兼容表

一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（詳情請咨詢）

量程比：200:1

zui大顯示流量：128%FS

顯示屏:同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程

高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

重復(fù)性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm

預(yù)熱時間：<1s

響應(yīng)時間：10ms

標定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓；0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ºC

工作濕度：0-*,無冷凝

標準zui大工作壓力：1MPa 表壓

標準極限耐壓：1.2MPa 表壓，進出口zui大瞬時壓差可為500kPa

中壓選項：2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：40mA

電氣接口：8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業(yè)接頭

材質(zhì)：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁

防護等級：IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及

供電電流需咨詢我們

產(chǎn)品選型 ：

選項及配件 ：

●標準性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數(shù)字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
內(nèi)置30種氣體可選
200:1量程可調(diào)比
NPT接頭
可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保
●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（zui多4種）
定制流量范圍

應(yīng)用及案例 ：

● 大學(xué)/研究所
● 泄漏檢測
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半導(dǎo)體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計量
● 過程工藝氣體測量