臭氧流量計是利用熱傳導(dǎo)原理測流量的儀表。該儀表采用恒溫差法對氣體質(zhì)量流量進行準確測量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測量準確等優(yōu)點。
傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環(huán)路，一個傳感器測量流量溫度，另一個傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可以在高溫和高壓條件下進行流量測量。
臭氧流量計具有如下技術(shù)優(yōu)勢：
1、優(yōu)點：
（1）寬量程比（可達1：100），能測量極低流速和微小流量，能測低壓氣體流量，甚至是真空狀的分子流。
（2）無活動部件，可靠性高。
（3）無壓力損失或壓力損失很小。
（4）測量氣體流量時，常以標準下的體積流量單位表示，介質(zhì)溫度，壓力變化
幾乎不影響所測量值，若標準狀態(tài)下密度恒定，則類似于臭氧流量計。
（5）安裝維修簡便。在現(xiàn)場條件允許的情況下，可以實現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護。
（6）采用RS-485通訊，可以實現(xiàn)工廠自動化、集成化。
（7）特別對于測量大口徑煙道氣的測量，臭氧流量計具有成本低，安裝簡單方便等特點，
2、技術(shù)參數(shù)
轉(zhuǎn)換器形式：一體式，分體式
傳感器材質(zhì)：304不銹鋼
顯示；一體型： 8位字段式加24個提示符
一次表防護等級：IP67
準確度：±2%
流量范圍：0.01-100M/S
供電電源：一體機（DC 24V 或者AC220V≤ 18W) 分體式（AC220V≤ 19W )
輸出信號：4-20ma信號輸出，RS485通訊，MODBUS協(xié)議
供電方式：一體AC220V或DC24V 分體AC220V
連接方式：螺紋連接，法蘭連接
公稱壓力：DN25-200 1.6Mpa DN200-600 1.0Mpa DN600以上0.6Mpa
傳感器工作溫度：常溫：-10~100度，高溫：-10~350度，轉(zhuǎn)換器：-20~45度
