Dimension 3100 SPM使用自動化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術，可用來測量直徑可達200毫米的半導體硅片、刻蝕掩膜、磁介質、CD/DVD、生物材料、光學材料和其它樣品的表面特性。它的激光點定位系統(tǒng)和無需工具改變掃描技術的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數(shù)據(jù)處理能力。