BaseMate系列9300隔振平臺是為較大型設(shè)備提供靈活多樣的隔振選擇而設(shè)計的。通過16個經(jīng)過時間考驗的設(shè)計模塊，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用需要找到較*的配置方案。BaseMate平臺系統(tǒng)相比于其他地基平臺系統(tǒng)具有*的。

BaseMate系列9300隔振平臺是為較大型設(shè)備提供靈活多樣的隔振選擇而設(shè)計的。通過16個經(jīng)過時間考驗的設(shè)計模塊，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用需要找到較*的配置方案。BaseMate平臺系統(tǒng)相比于其他地基平臺系統(tǒng)具有*的。

BaseMate設(shè)計特點是通過一個二級平臺擺錘技術(shù)和空氣耦合系統(tǒng)結(jié)合，提供*的隔振控制。首平臺，是一個低剛度/高性能主動空氣水平支持系統(tǒng)，具有極低的垂直固有頻率，已達到大化垂直隔振。第二平臺使用三線擺組合裝置與空氣耦合系統(tǒng)聯(lián)動使用，提供穩(wěn)定的隔振源，達到極低的水平固有頻率。二者結(jié)合黏滯阻尼，大化隔振效率。由于BaseMate的擺錘組合裝置去掉了其他廠家都采用的邊角垂直提升，其產(chǎn)生的共振被消除，所以能夠立即達到*的隔振效果。

為了方便和穩(wěn)定性考慮，自動水平儀和高度控制合并在一起。標準的BaseMate平臺是一個3英寸厚的剛性阻尼環(huán)氧復(fù)合“三明治”，其中1/2英寸厚的上下兩個鋼板，中間夾著2英寸厚的具有我們*的技術(shù)的約束阻尼墊層。

剛性可以與3英寸厚的固體鋼板相比較，但是重量只是鋼板的1/3，同時阻尼效果更好。平臺的結(jié)構(gòu)增強了非剛性較大儀器的基底，降低重心高度，以增強穩(wěn)定性。更大尺寸的平臺（7英尺以上）和其他設(shè)計的平臺，可以提供更厚的平臺（4-6英寸）可選非磁性材料裝配和Class10級無塵清潔室安裝。標準的毛載重可達25,000lbs（11,330kg），能使BaseMate*的適配大多數(shù)儀器的解決方案。

典型應(yīng)用：

SEM，TEM， CMM，光刻機，掩模對準系統(tǒng)等設(shè)備。

    空氣懸掛垂直隔振Air suspension forvertical isolation；

    鐘擺式懸掛增強水平隔振；

    優(yōu)異的阻尼；

    剛性阻尼平臺；

    相比設(shè)備名義高度增高4.5"；

    自動水平校準；

    超低固有頻率；

    許多標準儀器的預(yù)制設(shè)備；

    客戶可自定義形狀，圖樣和切口；

    提供靈活布局。

注：典型的性能表現(xiàn)是微擾動下