高精密勻膠機旋涂儀SC100
應(yīng)用：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

產(chǎn)品介紹：

名稱：高精密勻膠機

型號：SC100-SE

產(chǎn)地：

高精密勻膠機旋涂儀SC100應(yīng)用：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

產(chǎn)品描述：

高精密勻膠機旋涂儀SC100是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序，使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中*的大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。

性能指標：

·         主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

·         旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

·         轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）

·         旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

·         馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

·         轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm

·         工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

·         支持wafer尺寸25px-200mm（8”圓晶）

·         旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產(chǎn)品優(yōu)點：

·         全新的內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。

·         7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

·         Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

·         標準配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。

·         采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

·         機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。

·         排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。

·         透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設(shè)備結(jié)構(gòu)
　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)