Filmetrics 薄膜厚度測量儀測厚儀使生產(chǎn)晶片的測量變得簡單實惠
工藝工程師希望薄膜厚度測量是快速容易的，現(xiàn)在高精度的厚度成像技術(shù)讓 Filmetrics 可以快速建立配方，并且擁有行業(yè)*的測試速度，而且價格僅僅是同行業(yè)測量設(shè)備的小部分。 F80 可以應(yīng)用在化學(xué)機械拋光、化學(xué)氣相沉積、蝕刻等工藝中，這是晶片追索工藝工程師所期待的。

Filmetrics 薄膜厚度測量儀測厚儀

Filmetrics 薄膜厚度測量儀測厚儀使生產(chǎn)晶片的測量變得簡單實惠
工藝工程師希望薄膜厚度測量是快速容易的，現(xiàn)在高精度的厚度成像技術(shù)讓 Filmetrics 可以快速建立配方，并且擁有行業(yè)*的測試速度，而且價格僅僅是同行業(yè)測量設(shè)備的小部分。 F80 可以應(yīng)用在化學(xué)機械拋光、化學(xué)氣相沉積、蝕刻等工藝中，這是晶片追索工藝工程師所期待的。
 

新技術(shù)= 低成本
與傳統(tǒng)的測量工具不同， F80 不需要高精度的移動硬件去找尋微小的測試 pads，相反的，它可以快速的測量每個 pad 附近數(shù)以千計點的厚度，然后處理“厚度成像”結(jié)果，進而找到正確的厚度?？梢杂行У奶鎿Q昂貴的移動硬件，進而節(jié)約很高的成本。
 

使用*的方便
因為使用厚度成像技術(shù)， F80 不依賴過時的基于視頻的圖像識別技術(shù)，這意味著在 CMP 應(yīng)用中通常會遇到的前后表面光對照比不同的問題，在 F80 系統(tǒng)中是不存在的。 也意味著配方的建立更自動化和直觀，數(shù)據(jù)可以及時存，從而節(jié)省了時間，訓(xùn)練及減少誤操作引發(fā)的錯誤。
 

快速
因為厚度成像技術(shù)， 300 毫米晶片在 F80 上掃描 21 點僅僅只需要 29 秒的時間，非常快速。