型號(hào) | SFT9455系列 |
測(cè)定元素 | 原子序號(hào)22(Ti)~ 83(Bi) |
X射線管 | 管電壓:50kV管電流:1.5mA |
檢測(cè)器 | 半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管 |
準(zhǔn)直器 | 4種(0.015、0.05、0.1、0.2mmΦ) |
樣品觀察 | CCD照相機(jī)(帶可變焦距功能) |
對(duì)焦 | 激光向?qū)?/p> |
過(guò)濾器 | 電動(dòng)切換(一次: Mo、二次: Co) |
X-ray Station | 電腦、17英寸CRT |
打印 | 噴墨打印機(jī) |
膜厚測(cè)定系統(tǒng) | 薄膜FP法,檢測(cè)線法 |
材料分析系統(tǒng) | 體積FP法 |
測(cè)定功能 | 自動(dòng)測(cè)定、中心檢索、畫(huà)像處理 |
補(bǔ)正功能 | 材料補(bǔ)正,已知樣品補(bǔ)正 |
定性功能 | KL標(biāo)記、比較顯示 |
統(tǒng)計(jì)處理功能 | 預(yù)裝MS-EXCEL® |
報(bào)告制作功能 | 預(yù)裝MS-WORD® |
安全機(jī)能 | 樣品門(mén)鎖定 防止樣品碰撞樣品 裝置診斷功能 |
電源 | 100V 15A |
SFT9455 X射線熒光膜厚測(cè)量?jī)x 系列里zui高的機(jī)型就是SFT9455。搭載著75W高性能X射線管和雙向分離工檢測(cè)器(半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管),符合“薄膜”、“合金膜”、“極微小部分測(cè)定”等鍍膜厚度測(cè)定要求的高性能膜厚度測(cè)量?jī)x。SFT9455還在鍍膜厚度測(cè)定功能的基礎(chǔ)之上增加了異物定性和查資料成分分析的功能。
1.搭載雙向分離工檢測(cè)器(半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管):搭載在X射線能量分辨率上,優(yōu)秀的半導(dǎo)體檢測(cè)器(起作用液化氮)和計(jì)數(shù)率優(yōu)秀的比例計(jì)數(shù)管,能夠根據(jù)運(yùn)用需要對(duì)應(yīng)使用。特點(diǎn)是半導(dǎo)體檢測(cè)器,能夠區(qū)分Ni和Cu這樣相似的元素。它有以下的特點(diǎn): ·能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次過(guò)濾的情況下進(jìn)行測(cè)定。 ·對(duì)于含Br的打印基板,可以做到不受Br干擾進(jìn)行高精度的Au鍍膜厚度測(cè)定?! ?middot;能夠測(cè)定0.01μm以下極薄的Au鍍膜?!?/p>
2.薄膜FP軟件:對(duì)應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等,適用于廣泛的運(yùn)用領(lǐng)域?!?/p>
3.適用測(cè)定極微小部分 15μmΦ的準(zhǔn)直管為標(biāo)準(zhǔn)裝備。能夠測(cè)定微小部分鍍膜厚度。
4.搭載75W高性能X射線管?!?/p>
5.容易對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)?!?/p>
6.能夠測(cè)定大型打印基板的大型平臺(tái)?!?/p>
7.依據(jù)照明,能夠觀察以往難以觀察的樣品。
8.搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器?!?/p>
9.利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動(dòng)平臺(tái)?! ?/p>
10.正確的對(duì)焦 利用激光能夠正確得對(duì)焦測(cè)試樣品?! ?/p>
11.報(bào)告制作軟件 運(yùn)用微軟的軟件能夠簡(jiǎn)單得把測(cè)定的數(shù)據(jù)制作成書(shū)面材料。