| 型號(hào) | SFT9455系列 |
| 測定元素 | 原子序號(hào)22（Ti）~ 83（Bi） |
| X射線管 | 管電壓：50kV管電流：1.5mA |
| 檢測器 | 半導(dǎo)體檢測器+比例計(jì)數(shù)管 |
| 準(zhǔn)直器 | 4種（0.015、0.05、0.1、0.2mmΦ） |
| 樣品觀察 | CCD照相機(jī)（帶可變焦距功能） |
| 對(duì)焦 | 激光向?qū)?/p> |
| 過濾器 | 電動(dòng)切換（一次: Mo、二次: Co） |
| X-ray Station | 電腦、17英寸CRT |
| 打印 | 噴墨打印機(jī) |
| 膜厚測定系統(tǒng) | 薄膜FP法，檢測線法 |
| 材料分析系統(tǒng) | 體積FP法 |
| 測定功能 | 自動(dòng)測定、中心檢索、畫像處理 |
| 補(bǔ)正功能 | 材料補(bǔ)正，已知樣品補(bǔ)正 |
| 定性功能 | KL標(biāo)記、比較顯示 |
| 統(tǒng)計(jì)處理功能 | 預(yù)裝MS-EXCEL® |
| 報(bào)告制作功能 | 預(yù)裝MS-WORD® |
| 安全機(jī)能 | 樣品門鎖定
防止樣品碰撞樣品
裝置診斷功能 |
| 電源 | 100V 15A |
SFT9000系列里zui高的機(jī)型就是SFT9455。搭載著75W高性能X射線管和雙向分離工檢測器（半導(dǎo)體檢測器+比例計(jì)數(shù)管），符合“薄膜”、“合金膜”、“極微小部分測定”等鍍膜厚度測定要求的高性能膜厚度測量儀。SFT9455還在鍍膜厚度測定功能的基礎(chǔ)之上增加了異物定性和查資料成分分析的功能。
1.搭載雙向分離工檢測器（半導(dǎo)體檢測器+比例計(jì)數(shù)管）：搭載在X射線能量分辨率上，優(yōu)秀的半導(dǎo)體檢測器（起作用液化氮）和計(jì)數(shù)率優(yōu)秀的比例計(jì)數(shù)管，能夠根據(jù)運(yùn)用需要對(duì)應(yīng)使用。特點(diǎn)是半導(dǎo)體檢測器，能夠區(qū)分Ni和Cu這樣相似的元素。它有以下的特點(diǎn)： ·能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次過濾的情況下進(jìn)行測定。 ·對(duì)于含Br的打印基板，可以做到不受Br干擾進(jìn)行高精度的Au鍍膜厚度測定。 ·能夠測定0.01μm以下極薄的Au鍍膜。
2.薄膜FP軟件：對(duì)應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運(yùn)用領(lǐng)域?！?/p>
3.適用測定極微小部分 15μmΦ的準(zhǔn)直管為標(biāo)準(zhǔn)裝備。能夠測定微小部分鍍膜厚度。
4.搭載75W高性能X射線管?！?/p>
5.容易對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)?！?/p>
6.能夠測定大型打印基板的大型平臺(tái)?！?/p>
7.依據(jù)照明，能夠觀察以往難以觀察的樣品。
8.搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器?！?/p>
9.利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動(dòng)平臺(tái)?！ ?/p>
10.正確的對(duì)焦 利用激光能夠正確得對(duì)焦測試樣品。
11.報(bào)告制作軟件 運(yùn)用微軟的軟件能夠簡單得把測定的數(shù)據(jù)制作成書面材料
