高精度顯微鏡物鏡掃描儀 --- 高精度亞納米物鏡掃描臺/定位臺！

高精度顯微鏡物鏡掃描儀

高精度亞納米物鏡掃描臺/定位臺！


上海昊量推出的物鏡掃描臺采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺硅傳感器使平移臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺的精度可以達(dá)到亞納米，底噪低至10pm。

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昊量光電推出的壓電平移臺是為了滿足超精密定位應(yīng)用的需求。該平移臺采用壓電陶瓷驅(qū)動，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點。采用硅高精度位移傳感器，與電容位移傳感器相比擁有更高的精度、線性度和非常低的底噪。由于其具有較高的精度、線性度和較低的底噪等優(yōu)點，被廣泛的應(yīng)用于超分辨率顯微鏡，光學(xué)捕獲和原子力顯微鏡等領(lǐng)域。

上海昊量推出的物鏡掃描臺主要有AU-FOC和AU-FOCHS.100兩款產(chǎn)品。

AU-FOCHS采用管狀設(shè)計，專門用于顯微鏡物鏡快速高精度定位。該物鏡掃描臺可提供行程可達(dá)到100μm，精度可達(dá)到0.1 nm，諧振頻率可達(dá)到1175Hz。它由鋁、鋼和黃銅構(gòu)成，配備硅傳感器，可提供皮米級的穩(wěn)定性。以上優(yōu)點使其擁有廣泛的應(yīng)用，例如，激光加工、自動聚焦等還可以與自動對焦穩(wěn)定系統(tǒng)結(jié)合使用。

AU-FOC是一款專門用于顯微鏡物鏡準(zhǔn)確定位的設(shè)備。該物鏡掃描臺可提供100/200/300μm不同行程。該物鏡掃描臺由鋁和黃銅構(gòu)成，結(jié)合硅傳感器可提供皮米量級的穩(wěn)定性。

以上兩款物鏡掃描臺的黃銅安裝環(huán)可以輕松更換，因此幾乎所有的物鏡都可以與這兩款物鏡掃描臺結(jié)合使用?？捎玫奈镧R大小有RMS, M25, M26, M27 and M32.


產(chǎn)品特點
l 高分辨率（0.01nm）
l 高速度，諧振頻率可達(dá)1175Hz
l 采用硅傳感技術(shù)
l 超低底噪
l 柔性鉸鏈導(dǎo)向


主要應(yīng)用
l 自動聚焦系統(tǒng)
l 共焦顯微鏡
l 3D成像
l 超分辨顯微鏡
l 半導(dǎo)體計量學(xué)

產(chǎn)品參數(shù)：