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亞納米/納米平移臺（壓電直推型，0-1500μm行程）

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公司名稱 上海昊量光電設(shè)備有限公司
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廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2020/9/29 17:30:39
訪問次數(shù) 477

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

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高精度亞納米壓電平移臺

壓電平移臺是以壓電陶瓷為驅(qū)動，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向，通過壓電陶瓷的形變精確控制平臺的移動。該平臺可提供X、XY及XYZ等不同維度平臺，行程大可達(dá)1500微米。采用硅高精度位移傳感器閉環(huán)反饋，使平臺擁有毫秒級響應(yīng)速度，亞納米級的分辨率，并且擁有非常低的底噪。被廣泛應(yīng)用于，超分辨顯微、光鑷系統(tǒng)、原子力顯微鏡、顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、CCD 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。

昊量光電推出的壓電平臺按維度可以提供以下產(chǎn)品：

1）單軸壓電平臺

單軸壓電平臺是可以在單個維度上提供精確定位的產(chǎn)品，主要包含X壓電平臺、Z軸壓電平臺、物鏡掃描臺、一維快反鏡。

①X軸壓電平臺

一維平臺可提供不同行程、中空/非中空等不同類型的產(chǎn)品

型號	AUHS1	AUHS1H	AUC-X.100	AULF1	AUSLR
產(chǎn)品圖片
行程(μm)	10/30/50/70/100	30/50/70/100	100	100/200/300	300/500/8001500
分辨率(nm)	0.01/0.03/0.05/0.07/0.1	0.03/0.05/0.07/0.1	0.1	0.1/0.2/0.3	0.3/0.5/0.8/1.5
重復(fù)精度（全行程）nm	0.02/0.06/0.1/0.14/0.2	0.06/0.1/0.14/0.2	0.2	0.2/0.4/0.6	0.6/1/1.6/3
本底噪聲nm	0.001/0.003/0.005/0.007/0.01	0.003/0.005/0.007/0.01	0.01	0.01/0.02/0.03	0.03/0.05/0.08/0.15
傳感器	硅傳感器閉環(huán)反饋

②Z軸壓電平臺

型號	Z-stage	C-Z.100	Z-insert	Z-insert-K-TYPE	Z-insert-INC	LT-Z
產(chǎn)品圖片
行程(μm)	5/10/25/50	100	100/200/300/500	100/200/300	100/200/300/500	100/200/300/500
分辨率(nm)	0.005/0.01/0.025/0.05	0.1	0.1/0.2/0.3/0.5	0.1/0.2/0.3	0.1/0.2/0.3/0.5	0.1/0.2/0.3/0.5
重復(fù)精度(nm)	0.01/0.02/0.05/0.1	0.2	0.2/0.4/0.6/1.0	0.2/0.4/0.6	0.2/0.4/0.6/1.0	0.2/0.4/0.6/1.0
本底噪聲nm	0.0005/0.001/0.0025/0.005	0.01	0.01/0.02/0.03/0.05	0.01/0.02/0.03	0.01/0.02/0.03/0.05	0.01/0.02/0.03/0.05
傳感器	硅傳感器閉環(huán)反饋

③物鏡掃描臺

型號	FOCHS.100	FOC
產(chǎn)品圖片
行程(μm)	100	100/200/300
分辨率(nm)	0.1	0.1/0.2/0.3
全行程重復(fù)精度(nm)	0.2	0.2/0.4/0.6
本底噪聲nm	0.01	0.01/0.02/0.03
傳感器	硅傳感器閉環(huán)反饋

④一維快反鏡

型號	TT1.5
產(chǎn)品圖片
偏轉(zhuǎn)角度(mrad)	5/10
分辨率(μrad)	0.005/0.01
全行程重復(fù)精度（μrad）	0.01/0.02
本底噪聲（μrad）	0.0005/0.001
傳感器	硅傳感器閉環(huán)反饋

2）兩軸壓電平臺

兩軸壓電平臺可提供兩個維度的平移和偏轉(zhuǎn)主要包括XY壓電平臺和二維快反鏡

①XY壓電平臺

型號	LFHS2	LTHS2	C2.100	LFS2	LT2	BIO2	LF2	MWP2.800
產(chǎn)品圖片
行程(μm)	30/50/75	30/50/75	100	100	100/200/300	100/200/300	100/200/300	800
分辨率(nm)	0.03/0.05/0.075	0.03/0.05/0.075	0.1	0.1	0.1/0.2/0.3	0.1/0.2/0.3	0.1/0.2/0.3	0.8
重復(fù)精度（全行程）nm	0.06/0.1/0.15	0.06/0.1/0.15	0.2	0.2	0.2/0.4/0.6	0.2/0.4/0.6	0.2/0.4/0.6	1.6
本底噪聲nm	0.003/0.005/0.0075	0.003/0.005/0.0075	0.01	0.01	0.01/0.02/0.03	0.01/0.02/0.03	0.01/0.02/0.03	0.08
傳感器	硅傳感器閉環(huán)反饋

②二維快反鏡

型號	TT2.5
產(chǎn)品圖片
偏轉(zhuǎn)角度(mrad)	5/10
分辨率(μrad)	0.005/0.01
全行程重復(fù)精度（μrad）	0.01/0.02
本底噪聲（μrad）	0.0005/0.001
傳感器	硅傳感器閉環(huán)反饋

3）三軸壓電平臺

產(chǎn)品圖片	描述	行程
	LT3是一款三維平臺，可提供100,200或300微米的行程。平臺使用硅傳感器厚度只有20mm，該平臺很容易集成到倒置顯微鏡中	X-Y-Z 100μm 200μm 300μm
	BIO3是一款超低剖面的三維定位平臺可集成在任何倒置顯微鏡中。載玻片可以放置在其矩形孔中	X-Y-Z 100μm 200μm 300μm
	LF3是緊湊型3軸壓電平臺，具有66mm方孔，X軸和Y軸行程范圍為100μm，200μm或300μm，Z軸行程為50μm。建議要求小尺寸和通光孔時使用。	X-Y： 100μm 200μm 300μm Z： 50μm
	LFS3是一款3軸納米定位平臺，X，Y行程為100μm，Z行程20μm，通光孔徑40 x 40 mm。	X-Y： 100μm Z： 20μm
	LFHS3是一款高速三軸納米定位臺，諧振頻率高于2k，通光孔徑達(dá)66x66mm，可實(shí)現(xiàn)高速掃描，階躍時間可達(dá)2ms	X-Y： 75μm Z： 50μm
	LTTHS3是一款超薄高速三維定位平臺，可配合任何倒置顯微鏡使用，可實(shí)現(xiàn)高速掃描	X-Y： 75μm Z： 50μm
	C3.100是一款緊湊型平臺，是光纖對準(zhǔn)、雙光子聚合、激光直寫等應(yīng)用的理想產(chǎn)品	X-Y-Z 100μm
	CUBE3是一款3軸緊湊型納米定位平臺，可沿X，Y和Z提供100或200μm的運(yùn)動。其緊湊的設(shè)計(jì)使其成為光纖對準(zhǔn)，雙光子聚合，激光寫入等應(yīng)用的的理想工具	X-Y-Z 100μm 200μm
	SPM3平臺是一個3軸超高速納米定位平臺，沿X和Y提供75μm的行程，兩個軸上的共振頻率高于2kHz。 SPM3平臺的Z軸具有高達(dá)50μm的行程范圍，諧振頻率高達(dá)12.5kHz，當(dāng)與高功率控制器一起使用時，SPM3.5的Z軸的階躍響應(yīng)時間可以小于毫秒。因此，SPM平臺專為要求苛刻的計(jì)量應(yīng)用而設(shè)計(jì)，例如原子力顯微鏡。	X-Y： 75μm Z： 5μm 10μm 25μm 50μm
	SPM3LR壓電平臺是3維定位平臺，X軸和Y軸的位移為 100μm，200μm或300μm。 Z軸部分的行程可達(dá)50μm并具有高達(dá)12.5kHz的諧振頻率。 SPM3LR.xxx.05的Z軸的階躍響應(yīng)時間可以小于毫秒。因此，SPM3LR載物臺設(shè)計(jì)用于要求苛刻的計(jì)量應(yīng)用，例如原子力顯微鏡。	X-Y： 100μm 200μm 300μm Z： 5μm 10μm 25μm 50μm