掃描電鏡中進(jìn)行原位AFM分析

AFSEM技術(shù)實現(xiàn)了AFM和SEM的功能性互補(bǔ)，讓SEM可以同時實現(xiàn)樣品的高分辨率成像，真實的三維形貌，精確的高度，距離測量，甚至是材料的導(dǎo)電性能。做到這一點只需要將AFSEM懸臂探針（點擊查看詳情）的位置移動到SEM下需要觀察的樣品位置進(jìn)行探測。優(yōu)化的AFSEM工作流程(幾乎沒有減少SEM的掃描時間)確保了的效率。提供的強(qiáng)大控制軟件則允許進(jìn)行優(yōu)化和直觀的測量、系統(tǒng)處理和數(shù)據(jù)分析。

AFSEM可與大多數(shù)SEM兼容

GETec的AFSEM適用于大多數(shù)SEM或雙光束(SEM/FIB)系統(tǒng)?？梢灾苯影惭b在系統(tǒng)腔室的倉門上，同時樣品臺保持不變。此外，AFSEM采用一種自感應(yīng)懸臂探針，無需激光與傳感器。 AFSEM在電鏡中，夾持探針的懸臂梁只需要極靴與樣品之間4.5毫米的空間。因此，AFSEM可以與各種標(biāo)準(zhǔn)的SEM兼容，GETec公司能夠處理任何兼容SEM系統(tǒng)真空腔內(nèi)的安裝。也正是這種優(yōu)雅小巧的設(shè)計使得掃描電子顯微鏡能夠配合AFM技術(shù)實現(xiàn)的亞納米級的形貌探測。

成功的AFSEM集成的例子(可參見集成SEM列表list.pdf)

SEM-AFM 協(xié)同分析

對于產(chǎn)品或材料分析，通常需要用多種技術(shù)分析一個樣品或者同一個器件，并尋找參數(shù)之間的相關(guān)性。如果樣品需要使用SEM和AFM這兩種的成像技術(shù)，就意味著我們需要找到感興趣的區(qū)域并定位它，再拿到另一個設(shè)備中尋找這個感興趣的區(qū)域，才能實現(xiàn)對同樣的區(qū)域進(jìn)行分析。有什么能比直接把AFM放在SEM里面來的簡單呢？

AFSEM與SEM分析技術(shù)緊密配合

由于AFSEM小巧的設(shè)計維護(hù)了SEM功能的完整性，可以實現(xiàn)與其他標(biāo)準(zhǔn)的掃描電鏡分析技術(shù)相結(jié)合同時使用，如常規(guī)FIB、FEBID和EDX，以及SEM中可搭配的拉伸機(jī)，應(yīng)力測試，機(jī)械手等等。