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光學(xué)表面測(cè)量系統(tǒng) Leica DCM8

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 Leica DCM8將高清共聚焦顯微技術(shù)和干涉測(cè)量技術(shù)融合在一起,更添加了豐富的附加功能,使各種 材料表面特性的精確再現(xiàn)變得便利起來(lái)。為滿足您的記錄需求,系統(tǒng)的內(nèi)置百萬(wàn)像素CCD攝像頭 和4個(gè)LED光源提供非同凡響的真彩成像功能.

  常規(guī)技術(shù)參數(shù)

1.測(cè)量原理:非接觸式3D雙核光學(xué)成像輪廓測(cè)定法(共聚焦和干涉測(cè)量)。

2.功能:高清成像、高清3D形貌、輪廓、坐標(biāo)、厚度、粗糙度、體積、表面紋理、光譜分析、 色彩分析等。 

3.對(duì)比度模式:高清共聚焦、高清干涉測(cè)量(PSI、ePSI、VSI)、高清明場(chǎng)彩色、明場(chǎng)、暗場(chǎng)、實(shí)時(shí)高清RGB 共聚焦。

4.樣品高度 標(biāo)準(zhǔn)型:40 mm;包括可調(diào)立柱:150 mm;根據(jù)要求可提供更高的樣品高度。

5.物鏡 共聚焦、明場(chǎng)和暗場(chǎng)模式下,放大倍率1.25×至150×;干涉測(cè)量模式下,放大倍率5×至 50×。

6.物鏡轉(zhuǎn)盤 6位手動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盆/6位電動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盆。

7.載物臺(tái)掃描范圍(x、y、z) 垂直:z = 40 mm;水平:XY = 100x75 mm (標(biāo)準(zhǔn)),或= 300x300 mm (大)。 根據(jù)要求,可提供更大的載物臺(tái)。

8.垂直掃描范圍 共聚焦40 mm,PSI20 mm,ePSI100 mm,VSI10 mm。 

9.照明 LED光源:紅色(630nm),綠色(530nm),藍(lán)色(460nm)和白色。

10.圖像采集 CCD黑白傳感器:1360x1024像素(全分辨率);黑白35FPS 真彩/共聚焦:3FPS(全分辨率),10FPS(半分辨率),15FPS影像共聚焦。

11.樣品反射率 0.1%-*。 

12.尺寸和重量 長(zhǎng)x寬x高= 573 mm x390 mm x569 mm;重量:48kg 。

13.工作條件 溫度:10°至35°C;相對(duì)濕度(RH) < 80%;海拔高度< 2000 m 。

14.隔振 有源或無(wú)源 。

15.再現(xiàn)性(50x放大倍率) 共聚焦/VSI:誤差= 0.003 mm (3nm);PSI:誤差= 0.16nm (0.00016 mm)。 

16.精確度(20x放大倍率) 開環(huán):相對(duì)誤差< 3%;閉環(huán):誤差< 20nm。

  共聚焦模式 

物鏡放大倍率:1.25× 2.5× 5× 10× 20× 50× 100× 150×

數(shù)值孔徑:0.04 0.07 0.15 0.3 0.5 0.9 0.95 0.95 

視場(chǎng)(μm):14032x 10560 7016x x x 1320 877x660 351x264 175x132 117x88 

光學(xué)分辨率(X/Y): (μm) 3.5 2.0 0.94 0.47 0.28 0.16 0.14 0.14

縱向分辨率(nm): <3000 <350 <150 <30 <15 <5 <2 <2 

典型測(cè)量時(shí)間: 3-5s

  干涉測(cè)量模式 

物鏡放大倍率:5× 10× 20× 50× 

數(shù)值孔徑:0.15 0.30 0.40 0.50

視場(chǎng)(μm):3508xx1320 677x660 351x264 

光學(xué)分辨率(藍(lán)光)(X/Y)(μm):0.94 0.47 0.35 0.28 

光學(xué)分辨率(白光)(X/Y)(μm):1.12 0.56 0.42 0.33 

縱向分辨率(nm) PSI <0.1;ePSI < 1.0;VSI < 3.0 

垂直掃描速度(μm/s) VSI/ePSI:2.4 – 17μm/s 

典型測(cè)量時(shí)間 PSI:3 – 6sVSI:10s;ePSI:30s


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