Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

二、 功能

設(shè)備特點

• 臺階高度：幾納米至1000μm
• 低觸力：0.5至15mg
• 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
• 梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
• 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
• 緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀

主要應(yīng)用

• 臺階高度：2D臺階高度
• 紋理：2D粗糙度和波紋度
• 形式：2D翹曲和形狀
• 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
• SIMS：二次離子質(zhì)譜
• LED：發(fā)光二極管
• 太陽能
• MEMS：微電子機械系統(tǒng)
• 汽車
• 醫(yī)療設(shè)備

三、應(yīng)用案例

臺階高度

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1000μm的2D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP 和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能，可以測量如光刻膠的軟性材料。

紋理：粗糙度和波紋度

Alpha-Step D-300 測量 2D 紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。

外形：翹曲和形狀

Alpha-Step D-300 可以測量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對晶圓翹曲的測量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。Alpha-Step 還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

Alpha-Step D-300 能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力。