可變形反射鏡 Mini-DM  
自適應(yīng)光學(xué)： *的波前控制以MEMS變形鏡產(chǎn)生更高的對比度，高分辨率成像。波陣面成形是通過矯正高階像差引起的光學(xué)限制，大氣湍流，組織不均勻性。BMC的MEMS變形鏡提供*的調(diào)整和控制，大大提高成像精度。 
DM Selection Chart | | Mini- 1.5 | Mini- 3.5 | Mini- 5.5 | Mini-SLM |
| Stroke | 1.5 µm | 3.5 µm | 5.5 µm | 1.5 µm |
| Aperture | 1.5 mm | 2.0 mm | 2.25 mm | 1.8 mm |
| Pitch | 300 µm | 400 µm | 450 µm | 300 µm |
| MechanicalResponse (10%-90%) | <20 μs | <100 μs | <500 μs | <40 μs |
| Approx. Interactuator Coupling | 15% | 13% | 22% | 0% |
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DM 規(guī)格： ·32個致動器(6×6數(shù)組4角沒有) ·涂料:鋁、金或銀的保護(hù) ·保護(hù)窗口350 - 700 nm,400 - 1100 nm,650 - 1050或1050 - 1700 nm AR ·零滯后現(xiàn)象 ·Sub-nm平均步長 ·填充系數(shù)> 99%(DM)，98%(SLM) ·表面光潔度:< 30 nm RMS 驅(qū)動規(guī)格： ·*驅(qū)動和控制通過USB 2.0接口 ·14位步分辨率 ·大幀率:8 kHz， 34 kHz破裂 ·尺寸:4“×5.25“×1.2” 軟件規(guī)格： ·Windows XP / 7,Linux操作系統(tǒng)兼容 ·包括基本操作軟件 ·C / C++,Matlab和虛擬儀器驅(qū)動程序包括在內(nèi) ·Linux驅(qū)動程序可用 ·虛擬儀器測試軟件 Multi-DM  
DM Selection Chart | | Multi- 1.5 | Multi- 3.5 | Multi- 5.5 | Multi- SLM |
| Stroke | 1.5 µm | 3.5 µm | 5.5 µm | 1.5 µm |
| Aperture | 3.3 mm | 4.4 mm | 4.95 mm | 3.6 mm |
| Pitch | 300 µm | 400 µm | 450 µm | 300 µm |
| Mechanical Response
(10%-90%) | <60 μs | <100 μs | <500 μs | <40 μs |
| Approx. Interactuator Coupling | 15% | 13% | 22% | 0% |
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DM 規(guī)格： ·140 致動器(12×12數(shù)組4角沒有) ·涂料:鋁、金或白銀的保護(hù) ·防護(hù)窗350 - 700 nm,650 - 1050或1050 - 1700 nm AR涂層 ·零滯后現(xiàn)象 ·Sub-nm平均步長 ·填充系數(shù)> 99%(DM),98%(SLM) ·表面光潔度:< 30 nm RMS 
驅(qū)動規(guī)格： ·USB 2.0接口 ·120 - 240 VAC輸入 ·14位步分辨率 ·幀率:8 kHz ，34 kHz破裂 ·尺寸:9“×7“×2.5” 492-DM  
MEMS變形反射鏡 MEMS變形鏡在許多AO應(yīng)用鑒于其多功能性，技術(shù)的成熟，和他們的高分辨率波前校正功能。使用*的，廉價(jià)的制造技術(shù)，MEMS DMs性能優(yōu)勢是微加工: 1. 巨大的致動器陣列創(chuàng)造高分辨率波前校正 2. *的微觀結(jié)構(gòu)允許小影響相鄰驅(qū)動器對高空間頻率的表面 3. 優(yōu)化設(shè)計(jì)使快速波陣面形成為高速應(yīng)用 DM 規(guī)格： ·連續(xù)(DM)或分段(SLM)表面 ·492致動器（24通過一個圓形的孔徑） ·涂料:鋁、黃金或銀的保護(hù) ·防護(hù)窗400 - 1100 nm,1550nm或550 - 2400 nm AR涂層 ·零磁滯 ·填充系數(shù)> 99%(DM),98%(SLM) ·Sub-nm平均步長 ·表面光潔度:< 30 nm RMS ·Stroke: 1.5 μm, 3.5 μm ·孔徑6.9毫米,9.2毫米 ·Pitch:300μm，400μm ·約.機(jī)械響應(yīng)時間 (10% - -90%):< 20μs ·約.Interactuator耦合(±5%):15% 驅(qū)動規(guī)格： ·DIO 接口:SFP光纖連接通過PCIe接口Card ·14位步分辨率 ·大幀率:34千赫/ 60 kHz(低延遲) ·響應(yīng)時間:30μs / 17μs(低延遲) ·能耗:< 40 W ·尺寸:5.25×14“×19(3 U底架) Kilo-S-DM  
Kilo-S-DM 規(guī)格： ·連續(xù)(DM)或分段(SLM)表面 ·32致動器在平方有效孔徑(1020合計(jì))或34致動器在一個圓形有效孔徑(952合計(jì)) ·Stroke:600nm ·涂料:鋁、金或銀的保護(hù) ·保護(hù)窗口，“AR”涂層 ·零磁滯 ·填充系數(shù)> 99%(DM),98%(SLM) ·Sub-nm平均步長 ·表面光潔度:< 20 nm RMS S-Driver 規(guī)格： ·DIO接口:SFP光纖連接(2.5 Gbps)通過PCIe card ·延遲:22.7µs ·大幀率:60 kHz ·分辨率:12位 ·平均電壓步長:14 mV ·尺寸:3.5×14“×19(3U底座為19“機(jī)架) Kilo-SLM性能測試 Maximum update rates | - Small displacement: >50 kHz
- Mid-range displacement: >20 kHz
- Full-range displacement: >10 kHz
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線陣列 DM ![]()
DM規(guī)格： ·96x1或48 x2致動器 ·長度:28毫米/ 12毫米 ·寬度:1.8毫米/ 800μm ·零磁滯 ·Sub-nm平均步長 ·填充系數(shù)> 99%(DM),98%(SLM) 驅(qū)動規(guī)格： ·USB 2.0接口 ·14位步分辨率 ·幀率(延遲):8 kHz(125µs)，34KHz(32µs)破裂 ·尺寸:9“×7“×2.5” | 
