稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM；源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM；4路校準(zhǔn)氣入口和1路吹掃口；1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口；55個按鍵薄膜鍵盤；24位數(shù)字輸入/輸出，2路串行通訊輸出，RS232輸出；大而明亮的彩色顯示器；外部PC鍵盤接入端口；并行打印端口；空氣源控制端口。

儀器特點：

稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM；

源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM；

4路校準(zhǔn)氣入口和1路吹掃口；

1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口；

55個按鍵薄膜鍵盤；

24位數(shù)字輸入/輸出，

2路串行通訊輸出，RS232輸出；

大而明亮的彩色顯示器；

外部PC鍵盤接入端口；

并行打印端口；

空氣源控制端口。

性能參數(shù)：

稀釋入口：1路標(biāo)準(zhǔn)；

源氣入口：4路標(biāo)準(zhǔn)，1路吹掃；

稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）；

源氣流量：0-100SCCM/0-10000SCCM；

流量精度：≤±1%FS；

流量重復(fù)：≤±0.15%FS；

線    性：≤±0.5%FS；

入口壓力：20-35 PSIG；

內(nèi)置臭氧發(fā)生器參數(shù)：

輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；

精度：1%SP或5SLPM下2ppb；

流量：100±1 SCCM；

紫外燈溫度：50±0.1℃。

內(nèi)置紫外吸收光度計參數(shù)：

量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；

線性：±1ppb或±1%FS；

精度：±1ppb；

零點漂移：<±1ppb/24小時或30天；

流速：1.0 LPM；

模擬輸出：0-0.1/1/5V。

內(nèi)置稀釋爐參數(shù)：

材質(zhì)：玻璃或特氟龍；

尺寸：1個稀釋管；

可調(diào)溫度：高于環(huán)境溫度5度到65度；

溫度精度：<±0.1℃；

操作：55個按鍵，鍵盤或串行端口；

校準(zhǔn)定義：20個工廠定義流路；

校準(zhǔn)類型：氣體稀釋，臭氧，GPT；

氣體定義：2個稀釋氣，20個源氣；

自動校準(zhǔn)：20個程序驅(qū)動定時，

          7天事件，用戶可自定義；

數(shù)字輸入/輸出：24位標(biāo)準(zhǔn)輸出；

輸出類型：觸點觸發(fā)或TTL邏輯；

通訊：RS232，或以太網(wǎng)TCP/IP。