Q300T ES Plus大腔室高真空離子濺射和熱蒸發(fā)一體化鍍膜儀
Q300T ES Plus是集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種鍍膜方式的鍍膜系統(tǒng)。作為成功的Q系列濺射/碳鍍膜儀家族的一員，Q300T ES Plus是一個(gè)大腔室渦輪分子泵抽真空的鍍膜系統(tǒng)，非常適合在大直徑樣品或多個(gè)較小試樣上進(jìn)行金屬蒸發(fā)鍍膜，Q300T ES Plus還配備了可互換的濺射頭和碳蒸發(fā)頭。
Q300T ES Plus在大的工作腔室內(nèi)組合了離子濺射、金屬蒸發(fā)和碳蒸鍍系統(tǒng)。鍍膜頭可以在數(shù)秒鐘內(nèi)更換，智能邏輯系統(tǒng)自動(dòng)識(shí)別哪個(gè)鍍膜頭已就位，并顯示相應(yīng)的操作設(shè)置。渦輪分子泵真空系統(tǒng)，電容觸摸屏控制，高分辨率離子濺射鍍膜、高真空碳棒鍍膜/金屬蒸發(fā)鍍膜；設(shè)有LED狀態(tài)指示燈。標(biāo)配快速釋放離子濺射鍍膜頭和直徑57mm x 0.1mm的鉻靶、快速釋放金屬蒸發(fā)鍍膜頭，鍍膜頭可互換。標(biāo)配直徑50毫米的晶圓樣品臺(tái)。配有用于高真空測量的全量程真空規(guī)組件。
有關(guān)采用三靶鍍制大面積相同材料的膜層，請(qǐng)參閱Q300T T Plus。其它大腔室鍍膜儀，請(qǐng)參閱K975X/K975S以及Q300T D Plus。
儀器特點(diǎn)：
• 電容式觸摸屏，靈敏度高，更易觸控使用
• 用戶界面軟件全面更新，使用現(xiàn)代智能手機(jī)技術(shù)界面
• 全面的文字幫助頁面
• USB接口可輕松進(jìn)行軟件更新，也可將配方文件備份/復(fù)制到USB存貯器
• log文件格式為.csv，內(nèi)含日期、時(shí)間和工作參數(shù)，可導(dǎo)出至Excel或類似軟件中分析
• 允許多用戶輸入和儲(chǔ)存鍍膜方案，并可根據(jù)近的使用情況來排列每個(gè)用戶的配方
• 雙核ARM處理器，可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)的顯示；帶觸摸屏按鈕的全圖形界面，包括近使用的1000個(gè)鍍膜日志和維護(hù)到期時(shí)的提醒等功能
• 全量程真空規(guī)
• 集成的離子濺射、金屬蒸發(fā)和碳蒸鍍一體化系統(tǒng)
• 可選膜厚監(jiān)控附件（FTM），可選高腔室
• 大而多色的LED指示燈，實(shí)現(xiàn)可視化狀態(tài)指示；程序完成后具有音頻聲音提示
*應(yīng)用：
• 在大直徑樣品或多個(gè)較小試樣上進(jìn)行金屬蒸發(fā)鍍膜
• 高分辨鍍膜，SEM應(yīng)用
• EDX, WDS, EBSD鍍碳
Q300T ES Plus是英國Quorum出品的認(rèn)可的Q系列鍍膜儀的一部分，數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應(yīng)用提供高質(zhì)量的鍍膜解決方案，Q系列功能多樣、價(jià)格合理且易于使用。這些產(chǎn)品科研用途。
Q Plus系列鍍膜儀也有較小腔室的版本，請(qǐng)參閱：Q150R Plus、Q150T Plus以及Q150V Plus；SC7620和Q150GB也是可選的型號(hào)。
