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| 超高真空（UHV）低溫探針臺(tái)的側(cè)面圖 | 8英寸的高效真空泵抽口 |
美國(guó)ARS公司的 PS-L-UHV探針臺(tái)是專(zhuān)為樣品的非破壞檢測(cè)和大的真空潔凈而設(shè)計(jì)，測(cè)試靈活，廣泛應(yīng)用于直流（DC），射頻（RF）,MEMS, 納米電子，超導(dǎo)性，納米電路的光電特性，量子點(diǎn)和量子線，非破壞性測(cè)試等。
液氦/液氮型和閉循環(huán)低溫探針臺(tái)核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探針臂。如果您先購(gòu)買(mǎi)了液氦/液氮型的探針臺(tái)，那么可以在之后的任何時(shí)間內(nèi)升級(jí)成一個(gè)閉循環(huán)（無(wú)任何制冷劑）的系統(tǒng)。
該類(lèi)探針臺(tái)使用了ARS液氦/液氮型低溫恒溫器，樣品溫度因制冷劑不同可達(dá)~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。
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| 超高真空（UHV）探針臺(tái)的樣品區(qū) | Load-lock樣品座和4 DC探針特寫(xiě) |
該系統(tǒng)旨在提供一個(gè)大型的，可烘烤的超高真空樣品環(huán)境。真空腔由不銹鋼焊接而成，防熱輻射屏由裸無(wú)氧銅制成。銅的高導(dǎo)熱性使得樣品空間處有更冷的防熱輻射和更大的凈制冷量。高質(zhì)量的焊接刀口法蘭和巨大的泵出端口是至關(guān)重要的，因?yàn)?/span>這樣可以實(shí)現(xiàn)真正的10-11 Torr的超高真空環(huán)境，并保證了樣品的潔凈度。
ARS既生產(chǎn)冷頭又生產(chǎn)探針臺(tái)的一站式生產(chǎn)確保了系統(tǒng)的穩(wěn)定性能，也利于系統(tǒng)的診斷和售后服務(wù)。
應(yīng)用案例：
?電磁特性
?微波特性
?低頻，高頻特性
?MEMS
?納米電子學(xué)
?超導(dǎo)特性
?納米器件光電性能
?量子點(diǎn)及納米線
?單電子
?低電流物理特性
典型結(jié)構(gòu)
?液氦/液氮型低溫恒溫器
?傳輸管線-標(biāo)準(zhǔn)6英尺（8英尺或者10英尺）
?流量計(jì)
?10英寸的不銹鋼真空腔帶5個(gè)微操作探頭端口和2個(gè)備用的NW80附件端口，安裝在經(jīng)陽(yáng)極化處理的鋁臺(tái)面上，由鋁制支撐架支撐
?8 英寸的鍍鎳無(wú)氧銅防熱輻射屏
?2.25英寸的無(wú)氧銅接地樣品座
?DC, 微波或光纖探針
?4個(gè)溫度計(jì)和2個(gè)加熱器用于溫度控制和監(jiān)視
?渦輪分子真空泵
?四通道溫度控制器及與恒溫器連接電纜
?7:1變焦顯微鏡，分辨率小于2 微米，同軸或者環(huán)形光。包括一個(gè)高分辨的24寸的寬屏液晶顯示器和顯微鏡光源
特點(diǎn) | 備注 |
8英寸鍍鎳無(wú)氧銅防熱輻射屏 | |
2.25英寸鍍金無(wú)氧銅樣品臺(tái) | 可升級(jí)4英寸樣品臺(tái) |
高純石英觀察窗 | |
藍(lán)寶石防熱輻射屏冷窗 | |
標(biāo)配4個(gè)三維微操作探針臂,可選6-8個(gè) | |
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂 | |
控溫系統(tǒng)：高精度4通道控溫儀、用于測(cè)量樣品溫度的校準(zhǔn)行硅二極管溫度計(jì)（±12mK）、加熱器 | 溫度計(jì)安裝位置： 1、冷頭溫度計(jì)，用于診斷 2、樣品臺(tái)溫度計(jì)及加熱器，用于控制樣品臺(tái)溫度，實(shí)現(xiàn)精確控溫 3、樣品溫度計(jì)，用于精確測(cè)量樣品溫度 4、冷屏溫度計(jì)及加熱器，用于控制加熱冷屏溫度，實(shí)現(xiàn)快速換樣 |
樣品臺(tái)綜合振動(dòng) < 1微米 | 樣品臺(tái)振動(dòng) < 100nm |
7:1顯微觀測(cè)系統(tǒng)，3微米分辨率，環(huán)形光源 | 可升級(jí)16:1顯微觀察系統(tǒng) |
規(guī)格及技術(shù)參數(shù) | |
制冷方式 | 開(kāi)環(huán)恒溫器，液氦/液氮 |
溫度范圍 | 液氦~3.5K - 400K（大流量）(可選500K,800K) 液氮~77K - 400K(可選500K,800K) |
溫度穩(wěn)定性 | 優(yōu)于50mK |
泵抽真空時(shí)間 | 機(jī)械泵約45分鐘 分子泵約10分鐘 |
降溫時(shí)間 | 約30到45分鐘降溫到4.5K |
真空腔 | 焊接法蘭，不銹鋼真空腔 直徑11.97英寸（304mm） 上蓋安裝高純石英窗口 |
防熱輻射屏 | 鍍鎳無(wú)氧銅防熱輻射屏 直徑8英寸 上蓋藍(lán)寶石冷窗 |
樣品臺(tái) | 鍍金無(wú)氧銅樣品臺(tái) 2.25英寸直徑 |
樣品臺(tái)連接 | 接地（標(biāo)準(zhǔn)） 絕緣（可選） 偏壓，通過(guò)同軸電纜至外部BNC接頭（可選） 偏壓到Guard，通過(guò)同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭（可選） |
探針臂位移臺(tái) | 手動(dòng)驅(qū)動(dòng) 焊接刀口法蘭的不銹鋼焊接波紋管連接 X方向（軸向）2英寸行程 Y方向（橫向）1英寸行程（標(biāo)準(zhǔn)） 2英寸行程（可選） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程 刻度10微米 靈敏度5微米 |
振動(dòng) | 樣品臺(tái)綜合振動(dòng)優(yōu)于1微米 |
溫度計(jì)安裝 | 4個(gè)溫度計(jì)，2套加熱器 4個(gè)溫度計(jì)位置： 1個(gè)DT-670B-SD溫度計(jì)安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個(gè)DT-670B-SD安裝于樣品臺(tái)底部用于控溫 1個(gè)DT-670B-SD安裝于冷頭位置用于診斷 1個(gè)校準(zhǔn)型DT-670-CU-4M溫度計(jì)安裝在樣品臺(tái)頂部樣品附近，用于精確測(cè)溫 2套加熱器位置： 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺(tái)底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統(tǒng)快速升溫 |
顯微觀測(cè)系統(tǒng) | 標(biāo)準(zhǔn)7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野 工作距離：89毫米 數(shù)值孔徑：0.024-0.08 光源：環(huán)形光源 分辨率：3微米 安裝手動(dòng)三維位移臺(tái) 高分辨率24英寸顯示器 可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野 工作距離：89毫米 數(shù)值孔徑：0.0090-0.15 光源：環(huán)形光源 分辨率：2微米 安裝手動(dòng)三維位移臺(tái) 高分辨率24英寸顯示器 |
探針臂 | |
直流/低頻探針臂 | 微型同軸電纜 接頭：SMA或BNC 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 包含接地屏蔽接頭 三同軸電纜 接頭：三同軸接頭 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 卡爾文探針 電纜：同軸或三同軸 接頭：SMA/BNC/三同軸 頻率：0-100兆赫茲 針尖材料： 鎢針（標(biāo)準(zhǔn)） 鍍金鎢針（可選） 鈹銅鍍金（可選） 針尖半徑： 0.5微米（其他半徑可選） |
GSG高頻探針臂 | 0-40GHz 接頭：K型接頭 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭：2.4 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭：1.85 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 |
光纖探針臂 | 紫外/可見(jiàn) 或 可見(jiàn)/紅外 接頭：SMA905公頭 光纖樣品端：拋光裸頭 尺寸：100微米-400微米 |
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