1. 壽命長(zhǎng)一百萬次
2. 價(jià)格低廉自動(dòng)壓力控制可以低價(jià)進(jìn)行。
3. 高性能高性能伺服電機(jī)，伺服放大器，采用新的驅(qū)動(dòng)機(jī)制
4. 可以實(shí)現(xiàn)高性能的泄漏規(guī)格（*注1），多級(jí)位置控制和自動(dòng)壓力控制。
   還可以通過閥門O形圈來支持?jǐn)Q緊余量O規(guī)格，從而實(shí)現(xiàn)小的電導(dǎo)。
5. 它的小直徑為20A NW25。（也可提供20A NW25尺寸，并帶有一個(gè)可以*閉合的O形圈。）

特征

• 低成本閥門MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是于傳導(dǎo)控制的電動(dòng)蝶閥，沒有閥體O形圈。
• 三菱電機(jī)制造的多功能伺服電動(dòng)機(jī)用作閥體的驅(qū)動(dòng)源，并且可以將閥體停止并保持在任何其他位置，例如*關(guān)閉和*打開。
• 閥門的開口面積可以分多個(gè)階段進(jìn)行更改，可用于多種用途，例如在真空容器內(nèi)保持恒定壓力，改變閥門前后的壓力以及改變排氣導(dǎo)度。
• 可以使用計(jì)算機(jī)軟件或伺服放大器本身預(yù)先設(shè)置中間停止位置，多可以存儲(chǔ)13個(gè)位置。
• 通過從PLC等主機(jī)系統(tǒng)發(fā)送信號(hào)，它將以良好的再現(xiàn)性停在設(shè)定位置。
• 通過將可選的雙重自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)控制器與FPC系列相結(jié)合，可以進(jìn)行包括自動(dòng)壓力控制在內(nèi)的各種控制。