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納米(微米)壓痕/劃痕測(cè)試儀

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納米(微米)壓痕/劃痕測(cè)試儀用于薄膜、涂層、基底等材料的高精度納米機(jī)械性質(zhì)測(cè)量,該儀器能快速提供您材料(軟、硬、脆、韌各種材料)的硬度、楊氏模量等性質(zhì)。

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儀器特點(diǎn)
1) 多頻率壓痕測(cè)試 – 這種技術(shù)對(duì)于塑料高分子、MEMs等黏彈性受頻率影響的材料變形研究非常有用,提供材料納米壓痕試驗(yàn)全頻率范圍的黏彈性響應(yīng);
2) 深至15nm的硬度&楊氏模量測(cè)試;
3) Windows XP環(huán)境下自動(dòng)操作;
4) Spherical, Vickers及Berkovich納米壓痕測(cè)試;
5) 材料黏彈性的動(dòng)態(tài)機(jī)械分析;
6) 潛變、疲勞、斷裂剛性測(cè)試;
7) 壓痕的分布地圖繪制(Mapping);
8) 選配的高低溫測(cè)試;
9) AFM/SPM成像用于納米尺度壓痕圖像觀測(cè);
10) 可以升級(jí)增加納米(微米)劃痕、微米硬度測(cè)試模塊功能;
 
納米壓痕試驗(yàn)儀規(guī)格
 zui大壓痕深度
 4µm & 25µm自動(dòng)距離修正(1000µm可選配)
 深度分辨率(理論)
 0.006nm
 深度分辨率(防振臺(tái)*)
 0.5nm
 zui大負(fù)載
 50mN & 500mN自動(dòng)距離修正
 負(fù)載分辨率(理論)
 0.08µN
 負(fù)載分辨率(防振臺(tái)*)
 1µN
 X-Y運(yùn)動(dòng)范圍
 200 x 100毫米
 X-Y橫向分辨率
 0.15µm
 Z向馬達(dá)
 90毫米
 物鏡鏡頭
 標(biāo)準(zhǔn): 10x, 50x, 100x (選配: 5x, 20x)
 * 依賴實(shí)驗(yàn)室環(huán)境
 
 
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads);
存儲(chǔ)材料(磁盤的保護(hù)層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護(hù)層);
光學(xué)組件(*頭、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層);
金屬蒸鍍層;
防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具);
藥理學(xué)(藥片、植入材料、生物組織);
工程學(xué)(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS);


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