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EQ-10,EQ-10HR,EQ-10HP,EQ-10SXR 無電極Z-PinchTM EUV(極紫外)、SXR(軟X射線)光源系列

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 杭州譜鐳光電技術有限公司
  • 品牌
  • 型號 EQ-10,EQ-10HR,EQ-10HP,EQ-10
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2021/1/25 10:19:13
  • 訪問次數(shù) 548

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詳細信息 在線詢價

Energetiq光源是一款高亮度,高穩(wěn)定、長壽命寬譜光源,采用革命性的光源技術——LDLS™激光驅(qū)動光源技術,這種光源從170nm通過可見光到近紅外2100nm范圍內(nèi)亮度*、光譜平坦,壽命比傳統(tǒng)光源高一個數(shù)量級。

無電極Z-PinchTM  EUV(極紫外)、SXR(軟X射線)光源系列

 

Energetiq*的技術基于Z-Pinch等離子體,但是*不使用電極而是通過電感將電流耦合進入等離子體中。Energetiq光源中的等離子體通過磁性遠離光源內(nèi)壁,能夠?qū)嶝撦d消除到極低并減少殘留碎屑。Energetiq的無電極Z-Pinch技術有的空間穩(wěn)定性和穩(wěn)定的可重復輸出功率。

 

主要特點

  • 輸出波長13.5nm,2nm-4nmTM

  • 輸出功率10W@13.5±1%(可選20W型號)

  • 重復頻率2kHz(可選10kHz型號)

  • 無電極Z-Pinch技術

  • 符合CE標志和SEMI S2-0703

 

主要應用

  • EUV度量學

  • 耐EUV開發(fā)

  • 缺陷檢測

  • EUV顯微學

  • 水窗顯微鏡(XSR版本)

 

選型指南

 

img2img3

 

10
 

型號

EQ-10

EQ-10HR

EQ-10HP

EQ-10SXR

輸出功率   (用氙氣在2π球面)

10W,13.5nm,±1%寬帶

-

20W,13.5nm,±1%寬帶

400mW,2.8nm,產(chǎn)生2-4nm軟X射線

脈沖重復率

1200 to 2000 Hz

10kHz

1200 to 2500 Hz

2kHz

尺寸

小等離子體尺寸

殘留情況

低殘留

工作壓強

一般70到100 mTorr

一般150 mTorr

一般70到150 mTorr

-

氙氣流速

一般5到15 sccm

一般100 sccm

一般5到15 sccm

-

低成本

氙氣流速低,將消耗成本降*低,占地面小

可靠性強

無電極Z-Pinch技術,符合CE標志和SEMI S2-0703

應用

EUV度量學

耐EUV開發(fā)

缺陷檢測

EUV顯微學

EUV光學元件測量

EUV計量學

耐EUV開發(fā)

缺陷檢測

EUV顯微學

EUV掩膜檢測

EUV度量學

耐EUV開發(fā)

EUV顯微學

水窗顯微鏡

細胞微光束探測

 


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