主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)-主動(dòng)隔振臺(tái)-主動(dòng)式除振平臺(tái)-Herz AVI200系列 是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對(duì)靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng)，以提高精密設(shè)備的性能，具有的性能及通用性。該隔振臺(tái)的主動(dòng)隔振頻率為 0.5Hz - 200Hz，被動(dòng)隔振頻率200Hz。廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微隔振，以及半導(dǎo)體設(shè)備、干涉儀、電子天平精密設(shè)備隔振。

產(chǎn)品描述：

主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)-主動(dòng)隔振臺(tái)-主動(dòng)式除振平臺(tái)-Herz AVI200系列 是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對(duì)靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng)，以提高精密設(shè)備的性能，具有的性能及通用性。該隔振臺(tái)的主動(dòng)隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz，被動(dòng)隔振頻率>200Hz。

廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微隔振，以及半導(dǎo)體設(shè)備、干涉儀、電子天平精密設(shè)備隔振。適用于各類大型顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,*防震臺(tái)，輪廓儀防震臺(tái)，電子太平防震臺(tái)，超快激光系統(tǒng)防震臺(tái)，時(shí)頻系統(tǒng)防震臺(tái)，大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)，激光設(shè)備主動(dòng)防震！

工作原理：

主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)-主動(dòng)隔振臺(tái)-主動(dòng)式除振平臺(tái)-Herz AVI200系列使用電氣控制，通過對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng)，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)式隔振臺(tái)擅長(zhǎng)于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。

主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)-主動(dòng)隔振臺(tái)-主動(dòng)式除振平臺(tái)-Herz AVI200系列采用*的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng)，包括水平和垂直方向。Herz AVI系列利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動(dòng)，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號(hào)來消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。可為實(shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動(dòng)，提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。

性能優(yōu)勢(shì)：

• 系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除
• 六個(gè)空間方向的自由隔振
• 系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振
• 低頻隔振性能
• 無低頻共振、無空氣要求

兼容性：

AVI-200 work station 主動(dòng)隔振臺(tái)可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術(shù)參數(shù)（負(fù)載能力：高達(dá)400kg) :

隔振效果：