當(dāng)前位置:儀器網(wǎng) > 產(chǎn)品中心 > 實(shí)驗室常用設(shè)備>凈化/清洗/消毒>等離子清洗器> 等離子清洗機(jī) YSP63FA
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參考價 | 面議 |
- 公司名稱 柜谷科技發(fā)展(上海)有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2021/2/2 16:19:30
- 訪問次數(shù) 473
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可進(jìn)行樣品傳輸系統(tǒng)定制
● 操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
● 可通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作(選購品)。
規(guī)格
型號 | YSP63FA |
模式 | RIE(DP模式選購) |
高頻輸功率 | 600W |
反應(yīng)臺尺寸 | W385×D362mm |
內(nèi)腔尺寸 | W395×D378×H45mm(內(nèi)尺寸) |
反應(yīng)氣體 | 2進(jìn)氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣) |
反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式真空泵(約500L/min) |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 |
外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
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