型號

PDC200

PDC210

PDC510

等離子模式

RIE（DP模式選配）

RIE/DP

電極構(gòu)造

平行平板（固定）

高頻輸出

Max300W

Max500W

頻率

13.56MHz

控制·顯示

液晶觸摸屏

反應(yīng)室尺寸

W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm

電極尺寸

W250×D170mm

W400×D200mm

反應(yīng)室材質(zhì)

鋁

反應(yīng)氣體

2系統(tǒng)（Ar、O2）

填充氣體

N2或干燥空氣

反應(yīng)氣體流量控制

流量計

聚合控制器

真空泵

另行選配

油泵（約345L/分）標配

油泵（約500L/分）標配

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個

外形尺寸

W540×D600×H600mm

W540×D600×H600mm

W700×D700×H1285mm

重量

約100kg

約105kg

約180kg

電源

單相 AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A