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BPG400 大氣壓至超高真空真空計

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具體成交價以合同協(xié)議為準

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好處

  • 從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓(3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓)的極其寬泛的測量范圍
  • 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出的重復性
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護 Bayard-Alpert 系統(tǒng)在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染
  • 長使用壽命氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員的干預
  • 符合 RoHS 標準
  • 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

典型應用

  • 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

規(guī)格

類型 BPG400
測量范圍(空氣、O2、CO、N2 5×10-10 … 1000
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
可重復性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除氣 (1)  
p < 7.2="" ×="">-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓力,大 bar (absolute) 2
溫度  
運行(環(huán)境) °C 0 … +50
貯存 °C -20 … +70
在法蘭處烘烤,有延伸件 °C 150
在法蘭處烘烤,無延伸件 °C 80
移除烘烤電子設備 °C 150
電源電壓 +20 … +28
輸出信號模擬  
輸出信號 V 0 … +10
測量范圍 V +0.774 … +10
電壓與壓強 volts per decade 0.75
錯誤信號 V 0.3 / 0.5
小負載電阻 k? 10
接口(數(shù)字)(2) RS232C
電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
電纜長度,大 (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保護等級 IP30
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器: 設定點數(shù)量 2
設定點繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 100
設定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free
設定點繼電器: 滯后 % of reading 10
設定點繼電器: 觸點額定值 60
Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
BPG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
電纜長度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
電纜長度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技術規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型 ''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊 polling only
設定點繼電器: 設定點數(shù)量 2
設定點繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 100
設定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free
設定點繼電器: 滯后 % of reading 10
設定點繼電器: 觸點額定值 60
DeviceNet™ 電源電壓 +11 … +25
真空計電源電壓 +20 … +28
DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
BPG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male

1)除氣期間準確性降低

2)不可同時使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列和現(xiàn)場總線

3)RS232C 操作 <>

零件號

BPG400
零件號 明細
353-500 BPG400 規(guī)管
353-501 BPG400 規(guī)管
353-502 BPG400 規(guī)管
353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505 復合真空規(guī)
353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-490 BPG400 備用傳感器
354-491 BPG400 備用傳感器
354-498 Spare electronic BPG400 without Display
354-499 Spare electronic BPG400 with Display

附件

BPG400
零件號 明細
353-511 BPG400 24V電源
353-510 100 mm sensor extension tube
353-512 Baffle for BPG400
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

備件

BPG400
零件號 明細
354-490 BPG400 備用傳感器
354-491 BPG400 備用傳感器
354-498 Spare electronic BPG400 without Display
354-499 Spare electronic BPG400 with Display

數(shù)據(jù)表

手冊

手冊

三維步驟文件

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