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HPG400 大氣壓到高真空真空計

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具體成交價以合同協(xié)議為準

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好處

  • HPG400 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空系統(tǒng)的安裝與設置的復雜性
  • 高壓熱電離可以準確可靠地測量 1 X 10-5 至 1 mbar 范圍內(nèi)的壓力,進而改善過程控制
  • 用戶可選的熱電離發(fā)射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之間啟動
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護絲極,防止過早燒毀
  • 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動調節(jié),減少操作員的干預
  • 符合 RoHS 標準

典型應用

  • 半導體制造、電子工業(yè)和媒體工業(yè)中的濺鍍應用
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空至高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

規(guī)格

類型 HPG400
測量范圍(空氣,N2 2×10-6 … 1000
精度  
10-5 … 1 毫巴 % of reading ±15 (1)
可重復性  
10-5 … 10-1 毫巴 % of reading 2
10-1 … 100 毫巴 % of reading 30
熱離子發(fā)射,可選:  
選購件 1 mbar 1
選購件 2 mbar 5×10-1
選購件 3 mbar 2×10-1
選購件 4 mbar 1×10-1
選購件 5 mbar 5×10-2
壓力,大 bar (absolute) 2
溫度  
運行(環(huán)境) °C 0 … +50
貯存 °C -20 … +70
在法蘭處烘烤 °C 80
移除烘烤電子設備 °C 150
電源電壓 20 … 28
輸出信號模擬  
輸出信號 V 0 … +10.2
測量范圍熱陰極 V 1.5 … 7.5
測量范圍皮拉尼 V 8.5 … 9.75
電壓比壓強熱陰極 volts per decade 1
電壓與壓強皮拉尼 volts per decade 0.25
錯誤信號熱陰極 V 0.3
錯誤信號皮拉尼 V 0.5
小負載電阻 k? 10
接口(數(shù)字)(2) RS232C
電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
電纜長度,大 (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF g 430 / 695
保護等級 IP30
DeviceNet™  
協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
電纜長度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
電纜長度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡規(guī)模 up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型 ''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊 polling only
設定點繼電器: 設定點數(shù)量 2
設定點繼電器: 范圍 mbar 2×10-6 … 100
設定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free
設定點繼電器: 滯后 % of reading 10
設定點繼電器: 觸點額定值 60
DeviceNet™ 電源電壓 11 … 25
真空計電源電壓 V (dc) 20 … 28
DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
HPG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器: 設定點數(shù)量 2
設定點繼電器: 范圍 mbar 2×10-6 … 100
設定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free
設定點繼電器: 滯后 % of reading 10
設定點繼電器: 觸點額定值 60
Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
HPG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male

(1) 準確度為 10-5 mbar 至激發(fā)所選熱電離輻射的值

(2)不可同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場總線

(3) 用于 <30m 的 RS232C 運行

零件號

HPG400
零件號 明細
353-520 皮拉尼真空計
354-486 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526 HPG400-SP PBus,DN 40 CF-F
353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

附件

HPG400
零件號 明細
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
353-511 BPG400 24V電源
357-499 Baffle HPG (10 pieces)

備件

HPG400
零件號 明細
354-487 HPG400 備用傳感器
354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F

數(shù)據(jù)表

手冊

手冊

三維步驟文件

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