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Gemini™ 大氣壓至超高真空真空計(jì)

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好處

  • MPG500 series represents the latest Technology to act as direct replacement for Cold Cathode or Penning Transmitters of the  PTR 90 / PTR 225 (analog Versions) series.

  • 在惡劣環(huán)境下,使用壽命長(zhǎng)

  • 低雜散磁場(chǎng)
  • 零維護(hù)- 可換插頭
  • 超緊湊尺寸
  • 可靠的快速點(diǎn)火
  • 抗腐蝕饋入裝置
  • 可選測(cè)量電流

典型應(yīng)用

  • 基本壓力監(jiān)視和控制,在蒸發(fā)和濺射鍍膜應(yīng)用中從大氣壓到高真空。
  • 一般真空測(cè)量 – 工業(yè)爐、建筑玻璃、半導(dǎo)體、冰箱和空調(diào)。
  • 分析和研發(fā)應(yīng)用 – 質(zhì)譜分析、電子顯微鏡、醫(yī)療、眼科、光學(xué)和高能物理。

新聞

新一代冷陰極/冷陰極-皮拉尼組合真空計(jì)現(xiàn)在開放訂購(gòu)!

規(guī)格

類型 MAG50x MPG50x
測(cè)量系統(tǒng) Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
測(cè)量范圍(空氣、氮?dú)猓?/td> 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
準(zhǔn)確度 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % of reading 30 30
1×10-2 … 100 毫巴 % of reading - 15
100 … 1000 毫巴 % of reading - 50
可重復(fù)性 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % of reading 5 -
1×10-8 … 100 毫巴 % of reading - 5
安裝定位 any any
容許壓力 bar (absolute) 10 (limited to inert gases <> 10 (limited to inert gases <>
容許溫度    
運(yùn)行(環(huán)境) °C +5 ... +55 +5 ... +55
法蘭烘烤 (1) °C <150 <150
儲(chǔ)存 °C -40 ... +70 -40 ... +70
燈絲溫度 °C - 120
一年 30 天的相對(duì)濕度    
1×10-7 … 1×10-2 毫巴 % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
供電電壓    
在量規(guī) (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
波紋 V (p-p)

<1

<1

功耗 W <2 <2
待連接的保險(xiǎn)絲 AT <1 <1
電壓范圍    
模擬輸出 V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
測(cè)量范圍    
3MAx-00x-0x0N V +1.5 ... +8.5 -
3MBx-00x-0x0P V - +1.398 ... +8.598
3MAx-00x-0x0Q V +0.667 ... +10 -
電壓比壓力    
3MAx-00x-0x0N volts per decade 1 (logarithmic) -
3MBx-00x-0x0P volts per decade - 0.6 (logarithmic)
3MAx-00x-0x0Q volts per decade 1.33 (logaritmic) -
錯(cuò)誤信號(hào)    
錯(cuò)誤信號(hào) V

<+0.5

09.5 ... +10.5

輸出阻抗 ? 2x10 2x10
負(fù)載阻抗 k?

>10 (short circuit-proof)

>10 (short circuit-proof)

階躍響應(yīng)時(shí)間    
p > 10-6 毫巴 ms

<10

<10

p = 10-8 毫巴 ms

~1

~1

量規(guī)標(biāo)識(shí) k? 100 85
狀態(tài)(針 6)    
僅皮拉尼模式 V - 0 (low)
冷陰極點(diǎn)燃 V +15 ... +30 -
組合皮拉尼/冷陰極模式 3) V - +15 ... +30 (high)
電氣連接    
3Mxx-00x-000x FCC68, 8-pin, female FCC68, 8-pin, female
3Mxx-00x-010x D-sub, 9-pin, male D-sub, 9-pin, male
傳感器電纜    
3Mxx-00x-000x 8-pin, shielded 8-pin, shielded
電纜長(zhǎng)度    
50 米電纜 m < 50 (8x0.14 mm2) < 50 (8x0.14 mm2)
75 米電纜 m < 75 (8x0.25 mm2) < 75 (8x0.25 mm2)
100 米電纜 m < 100 (8x0.34 mm2) < 100 (8x0.34 mm2)
300 米電纜 m < 300 (8x1.00 mm2) < 300 (8x1.00 mm2)
工作電壓 kV <3.3 <3.3
工作電流高 µA <500 <500
工作電流低 µA <100 <100
曝露在真空的材料    
3Mx0-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels W, Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels
3Mx3-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, stainless steels Ni alloy, AI2O3, stainless steels
內(nèi)部容量 cm³ 22.8 22.8
重量    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320 <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
防護(hù)等級(jí) IP 40 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)    
符合CE

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

維護(hù) none none

1) 沒有電子設(shè)備。

2)供電裝置的小電壓必須根據(jù)傳感器電纜的長(zhǎng)度成比例增加。

3) 冷陰極點(diǎn)火。

零件號(hào)

MAG50x
零件號(hào) 明細(xì)
3MA0-007-000Q MAG500 SS,HC,FCC,40KF
351-500 MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-512 MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 MxG50x 點(diǎn)火單元
351-995 起輝器
MPG50x
零件號(hào) 明細(xì)
3MB0-006-000P MPG500 SS,HC,FCC,25KF
3MB0-007-000P MPG500 SS,HC,FCC,40KF
3MB0-00Q-000P MPG500 SS,HC,FCC,40CF-F
351-506 MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 MxG50x 點(diǎn)火單元
351-995 起輝器

附件

MAG50x
零件號(hào) 明細(xì)
211-098 細(xì)目過濾中心環(huán)組件DN 25 ISO-KF
351-550 MxG50x 點(diǎn)火單元
MPG50x
零件號(hào) 明細(xì)
211-098 細(xì)目過濾中心環(huán)組件DN 25 ISO-KF
351-550 MxG50x 點(diǎn)火單元

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

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