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  • 輕松方便地替換基于 OES 的儀器,實(shí)現(xiàn)更精確的終點(diǎn)控制
  • 消除因蝕刻不足或蝕刻過(guò)度導(dǎo)致的腔室清洗,降低時(shí)間和材料成本
  • 降低所需干凈氣流級(jí)別和成本
  • 無(wú)需執(zhí)行腔室窗口維護(hù)和更換,延長(zhǎng)了工具運(yùn)行時(shí)間

手冊(cè)

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