產(chǎn)品說明：
（1）放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000 X）；
（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測(cè)器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）；
（3）5kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）；
（4）通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；
（5）Tilt（0~90）載物臺(tái)配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）。
產(chǎn)品特性：
（1）臺(tái)式掃描電鏡,體型小巧,占用空間小；
（2）強(qiáng)大的軟件功能,單窗口操作界面,讓用戶操作方便簡(jiǎn)單；
（3）軟件實(shí)現(xiàn)檢測(cè)圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ)；
（4）掃描電鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,易于維護(hù)及保養(yǎng)；
（5）自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式,迅速定位待測(cè)樣品。
技術(shù)參數(shù)：
分辨率 | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) |
放大倍率 | 30~60,000 X |
加速電壓 | 5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step) |
圖像檢測(cè) | 二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image |
* Multi Detector (SE+BSE) |
觀察模式 | Standard Mode |
Charge-up reduction mode |
電子槍系統(tǒng) |
燈絲類型 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
偏壓系統(tǒng) | 自動(dòng)偏壓方式 |
電子槍校正 | 手動(dòng)方式 |
透鏡構(gòu)成 |
聚光鏡 | 2段式磁線圈透鏡 |
物鏡 | 1段式磁線圈透鏡 |
探測(cè)器類型 | SE Detector/ BSE Detector |
載物臺(tái)系統(tǒng) | 自動(dòng)或者手動(dòng) |
載物臺(tái)移動(dòng) | 3軸（X，Y，R）或5軸（X，Y，R，Z，T） |
圖像偏移 | Image shift X, Y Image Shift (±150μm) |
樣品尺寸 | 高度40mm時(shí)直徑70mm |
圖像掃描 | 快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.) |
圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.) |
圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.) |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié) |
圖像存儲(chǔ)格式 | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
數(shù)據(jù)顯示 | 放大倍率，探測(cè)器類型，電壓，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等 |
真空系統(tǒng) | 高真空模式 （旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min （渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時(shí)間：3分鐘以內(nèi) |
操控系統(tǒng) | 鼠標(biāo)和鍵盤 |
PC：臺(tái)式電腦（Desk Top） |
軟件 | 圖像文件打開，編輯，存儲(chǔ)功能長(zhǎng)度，面積，角度等測(cè)量功能,設(shè)置數(shù)初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換，Archives, Setting(EDS)模式等 |
體積 | 設(shè)備主機(jī)-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm |
重量 | 95kg |
設(shè)備環(huán)境 | 溫度：15℃~30℃
濕度：70% or less 電源：Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz |
