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AML - 晶圓對(duì)準(zhǔn)鍵合機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 香港電子器材有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2021/3/2 20:07:10
  • 訪問(wèn)次數(shù) 737

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詳細(xì)信息 在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

英國(guó)AML
晶圓鍵合機(jī)
AML (Applied Microengineering Ltd ) 公司成立于一九九二年。公司坐落于英國(guó)牛津哈威爾科學(xué)園,主要從事原位晶圓鍵合設(shè)備生產(chǎn),并在擁有數(shù)百億英鎊現(xiàn)代化設(shè)備的Bondcenter的支撐下,為客戶(hù)提供鍵合相關(guān)服務(wù)工作。AML生產(chǎn)的對(duì)準(zhǔn)鍵合機(jī),是目前市場(chǎng)上能夠?qū)崿F(xiàn)在同一設(shè)備上完成原位對(duì)準(zhǔn)、激活、鍵合的設(shè)備,是MEMS, IC,和III-V鍵合工藝的選擇。在實(shí)現(xiàn)原位鍵合的同時(shí),該設(shè)備也被用于壓紋、印壓、納米 壓印及其它圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)。可用于科研,并具有適合批量生產(chǎn)的全自動(dòng)設(shè)備。

AML Bondcenter 為客戶(hù)提供了制作鍵合基底,鍵合器件及3D集成和芯片級(jí)封裝的場(chǎng)所。

 

 

NEW !  IRIS-紅外晶圓鍵合檢測(cè)& Maszara鍵合強(qiáng)度設(shè)備

 


IR
檢測(cè)整片鍵合完成的晶圓

紅外檢測(cè)是一種快速、簡(jiǎn)單的無(wú)損檢測(cè)方法。它可以檢測(cè)鍵合后整片晶圓的空洞、粘接不良或內(nèi)部的顆粒。

可以對(duì)直徑200mm的晶圓做出快速檢測(cè)
可檢測(cè)的空洞小高度是250nm
空洞橫向小尺寸600um。

 


全新的IRIS桌上型分析設(shè)備

25mm寬的基板上進(jìn)行測(cè)試??蛇_(dá)檢測(cè)200mm的晶圓。
可使粘接強(qiáng)度的測(cè)量和分析更快速。
IRIS鍵合強(qiáng)度測(cè)量已經(jīng)得到SEMI MS5-0813 Micro Chevron Testing”標(biāo)準(zhǔn)的認(rèn)證。

 


自動(dòng)的Maszara鍵合強(qiáng)度測(cè)試工具

IRIS可以控制產(chǎn)品的失效。
插入角度可通過(guò)設(shè)計(jì)來(lái)固定和控制。
邊緣效應(yīng)-IRIS測(cè)量整片晶圓。
消除由于操作人員的技術(shù)和方法引起測(cè)量的不確定性—IRIS提供可重復(fù)的刀片插入。
應(yīng)力腐蝕-IRIS可以以比應(yīng)力腐蝕速度更快的速度移動(dòng)葉片,從而消除了應(yīng)力腐蝕造成的誤差。
兼容沒(méi)有圖形的晶圓不像Chevron鍵合強(qiáng)度測(cè)試方法那樣,需要有特定圖形的晶圓。
消除操作人員的影響,MAszara測(cè)試提供多次的重復(fù)結(jié)果。
操作更安全-不用人工操作。
整片晶圓的鍵合強(qiáng)度的mapping圖。

 


全自動(dòng)分析測(cè)量數(shù)據(jù),
并生成鍵合強(qiáng)度的
mapping

測(cè)量鍵合強(qiáng)度可達(dá)2.5Jm-2。
鍵合強(qiáng)度測(cè)量支持多種材料的組合,例如:硅、膨化玻璃、藍(lán)寶石、用戶(hù)可以輸入其它材料的彈性模數(shù)。
分析軟件可以連續(xù)記錄晶圓的條狀位置;通過(guò)自動(dòng)圖像分析,提取裂縫長(zhǎng)度。

 

 

AML鍵合機(jī)
晶圓對(duì)準(zhǔn)鍵合機(jī), 廣泛應(yīng)用于MEMS器件, 晶圓級(jí)封裝技術(shù)(WLP), *真空封裝基底, TSV 3D互聯(lián)工藝等。

         

AML鍵合機(jī)具有的原位晶圓對(duì)準(zhǔn)鍵合技術(shù):

• 激活、對(duì)準(zhǔn)、鍵合一體機(jī)
• 上下基板獨(dú)立加熱,適合Getter材料工藝
• 低擁有成本 & 高生產(chǎn)能力
• 智能作用力控制
• 可靠的全自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能,對(duì)準(zhǔn)精度可達(dá)1微米
• 真空鍵合
• 可鍵合的芯片及晶圓尺寸 為 2” 到 12”
• 自動(dòng)程序控制功能:適用于研發(fā)或生產(chǎn)等應(yīng)用
• 圖像采集功能:用于識(shí)別背面對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記
• 鍵合前晶圓原位激活、化學(xué)表面處理功能
• AML的BONDCENTER可為客戶(hù)提供強(qiáng)大的工藝支持

新!

AML Goodbye Adhesives - 3D IC Wafer Processing to use Vacuum-based Temporary Bonding Technique:


 

Cost effective, Time Saving!
- Adhesive free vacuum bonding
- Bonding time <5 mins
- Max. Process Temperature >300oC
- Debonding time <10mins
- Ideal for 3D-IC applications

AML 真空晶圓載片-
臨時(shí)鍵合解決方案,無(wú)需使用任何粘附劑

 


 
基板溫度/鍵合力曲線(xiàn)圖,上下基板可在鍵合過(guò)程中保持不同溫度

Cu-Cu鍵合過(guò)程中在腔室內(nèi)使用蟻酸氣體對(duì)鍵合表面氧化物進(jìn)行處理,處理后界面EDX譜圖

原位等離子體激活處理

原位對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

 

 

FAB12 - 全自動(dòng)晶圓對(duì)準(zhǔn)鍵合機(jī)

晶圓尺寸: 150mm & 200mm (或300mm)
晶圓厚度: Max. stack height 6.5mm
晶圓傳輸: 接觸邊緣 3mm 區(qū)域
基礎(chǔ)氣壓: 10-6mbar range
抽氣時(shí)間: 5 min (to 10-4mbar)
大鍵合力: 25kN
卡盒數(shù)量: 2 or 3 (FOUP, SMIF or Open Cassetoad Ports)

 


 


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