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4200A-SCS 參數(shù)分析儀

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4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數(shù)分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V 特性。作為高性能的參數(shù)分析儀,4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開(kāi)發(fā)速度。

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4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數(shù)分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V 特性。作為高性能的參數(shù)分析儀,4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開(kāi)發(fā)速度。

主要性能指標(biāo)

MOSFET, BJT 晶體管

材料表征

非易失性存儲(chǔ)設(shè)備

電阻率系數(shù)和霍爾效應(yīng)測(cè)量

NBTI/PBTI

III-V 族器件

失效分析

納米器件

二極管和pn 聯(lián)結(jié)

太陽(yáng)能電池

傳感器

MEMS 器件

電化學(xué)

LED OLED

典型應(yīng)用

I-V 源測(cè)量單元 (SMU)

± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊

100 fA 測(cè)量分辨率

選配前端放大器提供了 10 aA 測(cè)量分辨率

10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測(cè)量

四象限操作

2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元 (CVU)

AC 阻抗測(cè)量 (C-V, C-f, C-t)

1 kHz - 10 MHz 頻率范圍

● ± 30 V內(nèi)置 DC 偏置源,可以擴(kuò)展到 ± 210 V

選配 CVIV 多通道開(kāi)關(guān),在 I-V 測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換

脈沖式 I-V 超快速脈沖測(cè)量單元 (PMU)

兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測(cè)量通道

200 MSa/s,5 ns 采樣率

±40 V (80 V p-p),±800 mA

瞬態(tài)波形捕獲模式

任意波形發(fā)生器,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率

高壓脈沖發(fā)生器單元 (PGU)

兩個(gè)高速脈沖電壓源通道

±40 V (80 V p-p),± 800 mA

任意波形發(fā)生器,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率

I-V/C-V 多通道開(kāi)關(guān)模塊 (CVIV)

I-V 測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換,無(wú)需重新布線或抬起探針

C-V 測(cè)量移動(dòng)到任意端子,無(wú)需重新布線或抬起探針

支持 ±210 V DC 偏置源

遠(yuǎn)程前端放大器 / 開(kāi)關(guān)模塊 (RPM)

● 在 I-V 測(cè)量、C-V 測(cè)量和超快速脈沖 I-V 測(cè)量之間自動(dòng)切換

4225-PMU 的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安

降低電纜電容效應(yīng)


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