主要特點(diǎn):
高亮度場(chǎng)發(fā)射電子槍冷
冷場(chǎng)發(fā)射電子槍先天具有的高亮度和高能量分辨率的特點(diǎn),使納米量級(jí)分析研究成為可能,對(duì)超高分辨圖像和電子全息攝影具有*貢獻(xiàn)。
300kV高壓系統(tǒng)
300kV高壓系統(tǒng)具有更高的穿透能力,保證了厚樣品的原子分辨率圖像,降低了樣品制備難度,尤其對(duì)于金屬、陶瓷等高原子序數(shù)樣品的觀測(cè)十分有利。
*的分析能力
新引入了雙重雙棱鏡全息攝影功能、高空間分辨率電子能量損失譜(EELS)和高精度平行納米束衍射技術(shù)等*的分析技術(shù)。
可與FIB聯(lián)用樣品桿
日立公司專有的樣品桿可適應(yīng)FIB、TEM和STEM的使用。
簡(jiǎn)便易用的控制系統(tǒng)
基于Windows開發(fā)的電腦控制系統(tǒng)、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)可動(dòng)光闌和5軸馬達(dá)樣品臺(tái)使得儀器簡(jiǎn)單易用,10分鐘的升壓時(shí)間和1分鐘的換樣時(shí)間保證了儀器高效率的運(yùn)轉(zhuǎn)。
項(xiàng)目 | 主要參數(shù) |
電子槍 | 單晶鎢(310)冷場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
加速電壓 | 300kV、200kV*、100kV* |
點(diǎn)分辨率 | 0.19nm |
線分辨率 | 0.10nm |
信息分辨率 | 0.13nm |
放大倍率 | 低倍:200x - 500x;觀測(cè):2,000x - 1,500,000x |
圖像旋轉(zhuǎn) | ≤±5°(觀測(cè)模式,1,000,000x以下) |
樣品傾斜 | ±15° |
相機(jī)長(zhǎng)度 | 300 – 3,000 mm |
能譜立體角* | 0.15Sr |
應(yīng)用領(lǐng)域:
HF3300作為一款冷場(chǎng)發(fā)射的高電壓透射電鏡,可以作為大部分材料類(金屬、陶瓷等)樣品高分辨觀察的設(shè)備,既可以簡(jiǎn)化制樣的難度,也可以保證高分辨率。同時(shí),HF-3300也可以滿足高空間分辨率分析的需求,高亮度、低色差的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍為高空間分辨率的元素和結(jié)構(gòu)分析提供了保障,配合EELS和納米束衍射功能可以實(shí)現(xiàn)對(duì)納米尺度元素的分布以及晶體結(jié)構(gòu)的研究。*的雙棱鏡全息成像功能使得HF-3300可以獲得更多樣品的信息,尤其是與物理性能相關(guān)的信息,大大擴(kuò)展了其應(yīng)用領(lǐng)域。