| 小型電子束蒸發(fā)源 | ||
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| 應用 | ||
| 應用：單元，多元及多元組合（多至四種材料）共蒸發(fā)多種材料獲得超純薄膜沉積。 | ||
| 技術指標 | ||
| *多種型號可選: EGN1;EGN4;EGCO4;H-PEB4 單電源供電，四種材料共蒸發(fā)下各種材料蒸發(fā)速率獨立可調。根據(jù)應用需要，多數(shù)材料 蒸發(fā)速率可控低與0.1A/min 或高于300A/min *高效直接水冷源體，低系統(tǒng)熱載避免環(huán)境放氣及粒子生成 *蒸發(fā)材料可為棒材或粉抹 *多元蒸發(fā)材料源體設置防交叉污染隔板及擋板，手動和自動控制模式可選 *實時蒸發(fā)束流的監(jiān)測和控制 |
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