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IXION 193 SLM激光器

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IXION 193 SLM激光器

IXION 193 SLM系統(tǒng)是一種單頻全固態(tài)激光器,用于光學(xué)計量、193nm步進光學(xué)校準或高功率ArF*的帶寬控制。小于80MHz的頻譜帶寬接近其理論傅里葉極限。該激光器的中心波長可在185至194nm范圍內(nèi)定制,并可在購買時預(yù)先配置為固定波長。作為高精度光譜儀的一種選擇,系統(tǒng)具有0.001 nm光譜精度。這可以大限度地控制激光的光譜調(diào)諧。




特點:

● TEM00光束

● 二極管泵浦

● Q開關(guān)全固態(tài)激光器

● 單頻波長193.368nm


應(yīng)用:

○ 光譜校準

○ 光刻

○ 干涉度量

○ 193nm計量

○ 半導(dǎo)體檢測

○ 準分子的種子源


可選項:

○ 圖形化用戶界面

○ Labview數(shù)據(jù)庫

○ 精確的光譜儀

○ 中心波長:185-194nm

○ CDRH規(guī)格快門


產(chǎn)品參數(shù):

型號

IXION 193 SLM

波長

193.368 nm

平均功率

10 mW

脈沖寬度

8-12 ns

單脈沖能量

1.6 uJ

重復(fù)頻率

1-15 kHz

M2

<1.6

光譜帶寬

80 MHz

相干長度1)

>2 m

光譜可調(diào)諧性

>80 GHz

1)50%對比

所有數(shù)據(jù)均在重復(fù)頻率為6 kHz下測得


波長穩(wěn)定性&光斑輪廓



光譜特性&功率穩(wěn)定性



激光頭尺寸



系統(tǒng)尺寸(L×W×H),重量

激光頭

795×710×154mm3

74 kg

電源箱(包括水冷箱)

600×600×600mm3

78 kg

電學(xué)參數(shù)

工作電壓

85-264VAC

頻率

47-63Hz

功耗

650W typ







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