SD-900 型離子濺射儀外觀亮麗
做工精致，
旋鈕式定時器檔位清晰，手感舒適；特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大氣，具有歐洲典雅風(fēng)范；前面板上的微泄漏氣閥門可以連接多種氣體；調(diào)節(jié)濺射電流大小，成膜速度快，質(zhì)量好；功能控制和定時皆由CPU調(diào)度，使用范圍廣。
工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需的電離氣體，獲得鍍膜效果。
配有高位定性的飛躍真空泵
“ETD-900,The utility model has comfortable hａnd feeling, strong practicability, easy implement, novel construction, simple structure.
The micro leakage valve on the front panel can connect various gases; The sputtering current is regulated, the film speed is fast and the quality is good.;
Functional control and timing are all scheduled by CPU, with a wide range of applications.
It is easy to control the vacuum chamber pressure, ionization current and choose the required ionization gas when working in conjunction with the internal automatic control circuit, so as to achieve the best coating effect.
High qualitative jump vacuum pump
濺射氣體
| 濺射靶材 | 濺射電流 | 濺射速率 | 樣品倉尺寸 | 樣品臺尺寸 | 工作電壓 |
| 根據(jù)實驗?zāi)康目商砑託鍤?，氮氣等多種氣體。 | 標(biāo)配靶材為金靶，厚度為50mm*0.1mm。也可根據(jù)實際情況配備銀靶、鉑靶等。 | *電流 50mA,*工作電流30mA | 優(yōu)于4nm/min | 直徑160mm，高120mm | 樣品臺尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺，也可根據(jù)自身要求定制樣品臺 | 220V (可做110V), 50HZ |
需要鍍膜的樣品
| 電子束敏感的樣品 | 非導(dǎo)電的樣品 | 新材料 |
| 主要包括生物樣品，塑料樣品等。S EM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料，那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用，防止此類損傷； | 由于樣品不導(dǎo)電，其表面帶有“電子陷阱”，這種表面上的電子積累被稱為“充電”。為了消除荷電效應(yīng)，可在樣品表面鍍一層金屬導(dǎo)電層，鍍層作為一個導(dǎo)電通道，將充電電子從材料表面轉(zhuǎn)移走，消除荷電效應(yīng)。在掃描電鏡成像時，濺射材料增加信噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。 | 非導(dǎo)電材料實驗電極制作觀察導(dǎo) |
