輝光放電質譜儀是高靈敏度高分辯率儀器，能在一次分析過程中測定主量成分，微量成分和痕量成分。

輝光放電質譜儀技術參數(shù) 

   1.輝光放電固體進樣技術

   2.高分辯能力的質譜儀

   3.全面的元素分析能力

   4.樣品的主量成分，微量成分和痕量成分的分析能力

  5.金屬、非金屬固體樣品的分析能力；ppt數(shù)量級的固體樣品檢出限分析能力 

為分析家提供了高靈敏度高分辯率儀器，能在一次分析過程中測定主量成分，微量成分和痕量成分。成熟的軟件確保樣品的塊狀成分分析和元素深度分布分析的方便性。不需要操作人員的太多介入，典型檢出限是50ppt。許多元素是10ppt，見圖8，C，N，O的典型檢出限是0.1ppm。儀器的靈敏度、準確性、精度及攜帶儀器的靈活性和易使用性使ELEMENT GD成了的固體樣品分析儀器。