離子分析質(zhì)譜儀/飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用技術(shù)的SIMS 探針，便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學(xué)研究反應(yīng)室。

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀特點(diǎn)： 
1、高靈敏度脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器，7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
2、SIMS 成像，分辨率在微米以下 
3、光柵控制，增強(qiáng)深度分析能力
4、45°靜電扇形分析器, 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM. 
5、所有能量范圍內(nèi)，離子行程的zui小擾動(dòng)，及恒定離子傳輸
6、差式泵3級(jí)過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
7、靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器
8、Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
9、通過RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制


應(yīng)用：
1、靜態(tài) /動(dòng)態(tài)SIMS
2、一般目的的表面分析
3、整體的前端離子源，便于RGA和 SNMS
4、兼容的離子槍/ FAB 槍
5、成分/污染物分析
6、深度分析
7、泄漏檢測
8、與Hiden SIMS 工作站兼容