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CVD管式爐 CVD氣相沉積管式爐

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【產(chǎn)品名稱】1200℃-CVD管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm
【額定溫度】1200℃
【電源電壓】AC220V/50Hz
【控溫精度】±1℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

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商品描述

【產(chǎn)品名稱】1200℃-CVD管式爐

【爐管尺寸】φ25--φ120mm

【加熱區(qū)】300mm 

【額定溫度】1200℃

【電源電壓】AC220V/50Hz 

【控溫精度】±1℃ 

【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。


一、 產(chǎn)品描述

   系列產(chǎn)品主要針對在真空或者保護(hù)氣氛下對樣品的熱處理,優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng),可保證實驗數(shù)據(jù)的可靠性;產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料,爐管材質(zhì)優(yōu)良,爐管兩端不銹鋼法蘭密封,可在真空下工作,法蘭上有進(jìn)氣口和出氣口,可通入保護(hù)氣體,精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。

二、產(chǎn)品特點

1、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料,新型拼裝結(jié)構(gòu),高溫不變形、堅固耐用

2、 發(fā)熱體采用高溫合金絲,可承受負(fù)荷大,穩(wěn)定且使用壽命長

3、 爐管采用石英管,兩端不銹鋼法蘭設(shè)計簡單、合理、易拆卸,方便進(jìn)出被燒結(jié)樣品

4、 升溫速度快,從室溫升到1000攝氏度,一般需要15-30分鐘

5、 采用智能PID溫控儀表,控溫精度高,沖溫小,具有溫度補償和溫度校正功能,精度為±1℃

6、 控溫儀表具有程序功能,可設(shè)定升溫曲線,可編程序30段

7、 一體式結(jié)構(gòu),外觀設(shè)計美觀、大方

8、 電子元器件均采用產(chǎn)品帶有漏電保護(hù)功能,安全可靠

9、 本機對工作過程中的超溫會發(fā)出報警信號,并自動完成保護(hù)動作

10、當(dāng)儀表程序設(shè)定完成后,只要按下運行按鈕,接下來的工作會自動完成

11、可選配大屏幕無紙記錄儀,實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄,并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和打印

12、可選配氣體質(zhì)量流量計,通入氣體可數(shù)字精確控制


河南三特爐業(yè)科技有限公司

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