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SPIN150i 旋涂儀 勻膠機(jī)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海埃飛電子科技有限公司
  • 品牌
  • 型號 SPIN150i
  • 所在地 上海市
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2022/8/8 16:48:48
  • 訪問次數(shù) 495

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SPS旋涂儀是高品質(zhì)、全NPP POLOS單晶片,為MEMS、半導(dǎo)體、PV、微流體域等域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。適用于所有典型的旋涂。工藝:清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。

詳細(xì)信息 在線詢價

SPS旋涂儀是高品質(zhì)、全NPP POLOS單晶片,為MEMS、半導(dǎo)體、PV、微流體域等域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。適用于所有典型的旋涂。工藝:清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。

SPS旋涂儀

非常適合處理從直徑為 2.5  毫米到 160 毫米/ 260毫米的小碎片或尺寸為100x100 毫米或 150x150  毫米的方形樣品的各種基材。系統(tǒng)包括帶注射器支架的透明蓋子。直徑可達(dá) 300 毫米。 這些裝置通過易 于使用、可拆卸的彩色觸摸屏進(jìn)行操  作,提供直觀的編程和配方存儲???以選擇添加各種噴嘴、超音速清洗和  分配線。所有旋涂機(jī)都標(biāo)配有夾頭。標(biāo)準(zhǔn)單元為NPP材料,PTFE單元為PTFE。SPIN150i 適用于長達(dá) 150 毫米的基 材,包括免費的真空吸盤 A-V36 和 片段適配器 D-V10。


SPS旋涂儀規(guī)格

1、可編程 CW 和 CCW 以及攪拌旋轉(zhuǎn)

2、帶傳感器聯(lián)鎖的自動安全蓋鎖

3、速度 0 rpm - 12,000 rpm,精度 +/- 0.1 rpm

4、加速/減速 1 - 30,000 rpm/sec,每步可選

POLOS Advanced 系列規(guī)格

1、帶傳感器聯(lián)鎖的自動安全蓋鎖

2、自動順序或平行化學(xué)品分配

3、多達(dá) 6 個噴嘴,每個噴嘴可獨立編程

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