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微振動(dòng)檢測(cè)激光干涉儀ZLM900

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ZLM900-3D微振動(dòng)檢測(cè)激光干涉儀由德國(guó)JENAer耶拿爾公司生產(chǎn),為三軸外差式雙頻激光干涉儀,用于位移、俯仰角和偏擺角的三角關(guān)系測(cè)量,主要用于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等微位移的測(cè)量和檢測(cè),角度變化量的監(jiān)測(cè)等。

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微振動(dòng)檢測(cè)激光干涉儀 ZLM900-3D

 
激光干涉儀ZLM 900-3D
 
PXI數(shù)據(jù)處理器激光干涉儀ZLM900-3D
 
光學(xué)鏡頭ZLM 900-3D
 

世界范圍內(nèi),同類產(chǎn)品中效率zui高的干涉儀。

  • 三軸外差式微振動(dòng)檢測(cè)激光干涉儀,用于位移、俯仰角和偏擺角的三角關(guān)系測(cè)量
  • 高靈活性調(diào)整模塊,適用于所有數(shù)控機(jī)床的參數(shù)的測(cè)量
  • 動(dòng)態(tài)測(cè)量zui大速度4m/s,實(shí)時(shí)顯示三個(gè)軸的測(cè)量數(shù)據(jù)
  • 小型反射鏡,帶有磁性固定裝置
  • 適用于筆記本電腦、PCI和PXI中線,與網(wǎng)絡(luò)兼容
  • 位移測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)分辨率為1nm,角度測(cè)量分辨率為0.01"
  • 使用高精度溫度傳感器,系統(tǒng)精度可達(dá)50nm/m
  • 可拓展為6軸測(cè)量
  • 外部觸發(fā)zui大頻率為40MHz快速調(diào)整也適用于3D
  • 所有3軸實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)測(cè)量,無延時(shí)
  • zui多可擴(kuò)展到6軸
  • 小型反射鏡
  • 外部zui大觸發(fā)頻率40MHz


JENAer測(cè)量技術(shù)公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀,是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀,不僅能夠精確的測(cè)量數(shù)控機(jī)床的幾何量,如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等,還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量等。多軸干涉儀儀更可測(cè)量和檢測(cè)物體的微位移、擺動(dòng)振動(dòng)情況、工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況等。更多信息垂詢!

上圖為一個(gè)具體的3-軸干涉鏡和3-軸反射鏡系統(tǒng),光束由激光頭發(fā)出后進(jìn)入干涉鏡,3-軸干涉鏡把輸入的光束分為三個(gè)部分:
信號(hào)光束1用于位移的測(cè)量,信號(hào)光束2用于俯仰角的測(cè)量,信號(hào)光束三用于偏擺角的測(cè)量。
所有的光束照射到被測(cè)物體(3-軸反射鏡固定在被測(cè)物體上)后再次反射到干涉鏡上,每個(gè)信號(hào)光束與反射的光束進(jìn)行干涉,然后干涉光束傳輸?shù)郊す忸^里,進(jìn)行信號(hào)分析后進(jìn)入到軟件里。


三軸測(cè)量軟件(位移、偏擺和俯仰角) 三角關(guān)系的設(shè)定
測(cè)量結(jié)果的統(tǒng)計(jì) 在位置5開始測(cè)量
位移和角度的*測(cè)量 ISO230數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

    由本公司代理,德國(guó)耶拿爾


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