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KIF-402 激光干涉儀

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光學測量裝置

KIF-402

 
 

KIF-402是一款用于平面、價格低廉、高性能、對應4英寸直徑的立式激光干涉儀。

  • 概覽
  • 技術(shù)規(guī)格
  • 選配件
  • PDF版產(chǎn)品信息
  1. 小型、操作簡便
    小型、占地空間小,適于在生產(chǎn)現(xiàn)場使用。可以快速進行被檢物的放置和調(diào)整等。

  2. 測定口徑2級切換
    可以切換到適合硬盤底板尺寸的倍率,所以可以全面測定硬盤的測定面。

  3. 豐富的選配件
    可以使用各種ø102參照鏡(Zygo臺座互換)。如果安裝了干涉條紋解析裝置(KIF-FU100),還可進行高精度條紋解析。

  4. 支持口徑ø152
    如果安裝選配件中的孔徑轉(zhuǎn)換器,還可以轉(zhuǎn)換為6英寸口徑。

平面高精度激光干涉儀 KIF-402:規(guī)格
項目 KIF-402
測定方法 斐佐型干涉方式
口徑 ø102mm(使用選配件時ø60-ø152 mm)
參照表面精度 平面λ/20、λ/30
測定口徑 ø102、ø71(本體2級切換)mm
倍率 1×、1.4×(本體2級切換)
光源 He-Ne激光(632.8 nm)激光(2級激光產(chǎn)品)
電源 AC100 V 50/60 Hz
機身外形尺寸 300(W)×400(D)×790(H)mm
機身重量 約35 kg
標準附屬品 9型TV顯示器、2軸調(diào)整載物臺

  • 視頻打印機
  • 防振臺
  • 衰減過濾器
  • 透過測定臺
  • 支架
  • 4英寸-6英寸孔徑轉(zhuǎn)換器
  • 透過測定用平面鏡(λ/20)
  • 干涉條紋解析裝置(KIF-FU100)
  • 參照鏡(口徑4英寸、λ/15)(F0.6、F0.7、F0.8、F1.5、F3.0、F6.0)
  • 參照平面(口徑4英寸、λ/20或者λ/30)
  • 參照平面(口徑6英寸、λ/15)


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