測量系統(tǒng)

量測原理

白光干涉

Z軸定位系統(tǒng)

壓電效應調(diào)節(jié)系統(tǒng)

高度量測范圍

可達400 μm

攝像頭參數(shù)

CCD攝像頭；1624x 1234相素

干涉物鏡系統(tǒng)

放大倍數(shù)MAG

視場范圍FOV (mm)

橫向分辨率 (um)

2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 ×

4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2

10.54 μm – 0.55 μm

光源

LED

測試時間

通常＜20秒

軟件系統(tǒng)

SmartWLI

基于微軟Win7操作系統(tǒng)，64位表面形貌測量軟件；三維數(shù)據(jù)可通過接口直接傳輸至MountainsMap分析軟件。

MountainsMap

三維數(shù)據(jù)分析軟件，輪廓及三維影像結(jié)果輸出、測量數(shù)據(jù)預處理及后處理、德標（DIN）歐標（ EN） ISO標準粗糙度及高度測定、串行處理及測試日志。

輸出文件格式

ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF