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Diener Tetra30PC 等離子清洗機(jī)

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Tetra 30 等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進(jìn)行整合,例如以模塊系統(tǒng)的形式。

在下文中您可以大致了解能夠與 Tetra 30 等離子系統(tǒng)一同使用的見的選裝件。

Tetra 30 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

  • 分析 (REM, TEM)

  • 考古

  • 汽車行業(yè)

  • 生物技術(shù)

  • 彈性體技術(shù)

  • 電子技術(shù)

  • 電子顯微鏡

  • 精密工程

  • 研究和開發(fā)

  • 半導(dǎo)體技術(shù)

  • 小批量生產(chǎn)

  • 塑料技術(shù)

  • 醫(yī)療技術(shù)

  • 微系統(tǒng)技術(shù)

  • 太陽能電池技術(shù)

  • 紡織技術(shù)

基本設(shè)備

  • 根據(jù)具體組件/選裝件,外殼規(guī)格會(huì)有所不同

  • 腔室容積:根據(jù)具體版本,分為 34 - 57 升

  • 供電電源: 230 V 或者 400 V / 3 相位

氣源

  • 質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

  • 矩形不銹鋼件,配有鉸鏈的門
    (約寬 305 mm、高 300 mm x 深 370 mm 或者 625 mm)

裝載件

  • 產(chǎn)品支架(選項(xiàng):水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

電極

  • 單層或多層

  • 具有氣體噴淋的 RIE 電極

控制系統(tǒng)

  • PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)

  • PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)

壓力測(cè)量

  • Pirani

  • Baratron(適用于腐蝕性氣體版本)

計(jì)時(shí)器

  • 數(shù)字型

發(fā)生器

頻率: 40 kHz: 功率 0 - 1000 W;0 - 1500 W;0 - 2500 W

13.56 MHz: 功率 0 - 300 W;0 - 600 W

2.45 GHz: 功率 0 - 600 W;0 - 1200 W

所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級(jí)可調(diào)型

真空泵

  • 規(guī)格和制造商均各有不同(按照活性炭過濾器的需要)

其他選項(xiàng)

備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測(cè)試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝,包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。



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