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AVI-600 WOKSTATION 主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION

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AVI-600 WORKSTATION是一款緊湊型主動隔振系統(tǒng),對升級和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設(shè)備來說是理想的選擇。AVI-600 WORKSTATION這款設(shè)備允許在一定的大小范圍內(nèi)增設(shè)額外的模塊以用于支持更大的儀器載重量(9000磅) 。AVI-600 WORKSTATION 精密防震工作臺也是支持納米技術(shù)的解決方案。

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主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION

主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION 是一款緊湊型有源隔振臺,對升級和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設(shè)備來說是理想的選擇。AVI-600 WORKSTATION隔振臺允許在一定的大小范圍內(nèi)增設(shè)額外的模塊以用于支持更大的儀器載重量(9000磅) 。AVI-600 WORKSTATION 精密防震工作臺也是支持納米技術(shù)的解決方案。

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產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 主動隔振頻率:1Hz – 200Hz
  • 被動防振頻率>200Hz
  • 5-20 毫秒的響應(yīng)時間
  • 安裝簡單,容易使用
  • 能連續(xù)使用多年
  • 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • SEM
  • TEM
  • UHV-SPM
  • 光刻
  • UHV-SPM
  • 隧道顯微鏡
  • 大型的對震動敏感的儀器

主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION產(chǎn)品優(yōu)勢:

  • 系統(tǒng)主動檢測輸入震動并動態(tài)消除
  • 六個角度自由隔振
  • 內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振
  • 提供優(yōu)秀的低頻段隔振能力
  • 無低頻共振并沒有空氣要求

技術(shù)參數(shù):

隔振范圍:主動:1-200Hz ; 被動: >200Hz

傳輸率:超過 10Hz 的傳輸< -35 dB

模塊尺寸:W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)

模塊重量: 60 KG / 132 Lbs

靜態(tài)柔度(每個模塊)

垂直方向:約 12 μm / N

水平方向:約 6 μm / N

系統(tǒng)噪聲:少于 50nG/√Hz

耗電量:27 W(典型配置)

輸入電壓:90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz

控制器尺寸:48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能監(jiān)控:通過在示波器上顯示的一個復(fù)用信號來表示是否帶有隔振效果的震動等級

主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION 可選型號:

型號 臺面尺寸 (mm) 載重能力(雙個模塊)
AVI-600 workstation 600Χ600— 900Χ1200 900 Kg / 1980 Lbs
AVI-600 Extra workstation 600Χ600— 900Χ1200

1020Kg / 2,244 Lbs

AVI-600 plus workstation 600Χ600— 900Χ1200 1140 Kg / 2,508 Lbs
AVI-600 Ultra workstation 600Χ600— 900Χ1200

1260 Kg / 2,772 Lbs

AVI-600s workstation 600Χ600— 900Χ1200 900 Kg / 1980 Lbs

標(biāo)簽:主動隔振臺低頻隔振臺隔振平臺


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