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TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀,利用光學(xué)干涉原理,通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜,快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。反射膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護(hù)膜、有機(jī)薄膜、無(wú)機(jī)薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測(cè)量。

 

產(chǎn)品型號(hào)

TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀

主要特點(diǎn)

1、光學(xué)薄膜測(cè)量解決方案

2、非接觸、非破壞測(cè)量

3、覆蓋單層到多層薄膜

4、核心算法覆蓋薄膜到厚膜

5、配置靈活、支持定制化

6、采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠?,光譜覆蓋可見(jiàn)光到近紅外范圍

7、采用光機(jī)電高度整合一體化設(shè)計(jì),體積小,操作簡(jiǎn)便

8、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理,輕松解析單層薄膜到多層

9、配置強(qiáng)大核心分析算法:FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

TFMS-IV

TFMS-IV(可選)

基本功能

獲取薄膜厚度值以及R、N/K(可選)等光譜

光譜波長(zhǎng)范圍

380-800nm

650-1100nm(可選)

測(cè)量厚度范圍

50nm-20um

100nm-200um(可選)

測(cè)量時(shí)間

<1s

光斑尺寸

0.5-3mm

重復(fù)精度

0.1nm(100nmSiO2/Si)

精度

±1nm or 0.5%

入射角方式

垂直入射

可選配件

1

溫控臺(tái)

 

2

Mapping擴(kuò)展模塊

 

3

真空泵

 


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