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大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X

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產(chǎn)品簡介:大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X采用高純石英管,外徑規(guī)格有6″、8″、8.5″、11″可選,并配有不銹鋼法蘭,可進(jìn)行抽真空或通入其他氣氛氣體操作,主要用于大尺寸樣品燒結(jié)的需求。

 

產(chǎn)品型號(hào)

大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:如作為CVD系統(tǒng)使用,需自備氣源(標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭)

4、工作臺(tái):尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、石英管外徑為6″、8″、8.5″、11″

2采用PID控制器,可以設(shè)置51段控溫程序

3、控溫精度高,保溫效果好,溫度范圍大,爐膛溫度均勻性高,可通氣氛抽真空。

4、安全可靠,操作簡單。

技術(shù)參數(shù)

1電源:AC 380V  50/60Hz   5KW

2、石英管:Ø152mm×1000mmØ203mm×1000mm,Ø216mm×1000mmØ280mm×1000mm

3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁

4、加熱區(qū)域:900mm

5、溫區(qū):3個(gè),各300mm

6、溫度;1100

7、工作溫度:1000

8、升溫速率:20/min

9、推薦升溫速率:10/min

10、控溫精度:±1

11、控溫段數(shù):51

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:1300mm×650mm×1050mm;重量:150kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1

2

管堵

4個(gè)

3

坩堝鉗

1

4

熱電偶

1

5

真空法蘭

1

6

高溫手套

1

可選配件

1、石英管

2氧化鋁坩堝

3、石英坩堝

4、真空泵

 

1100℃多工位管式爐GSL-1100X-S
 
1100℃帶校準(zhǔn)系統(tǒng)管式爐GSL-1100X-50-LVT
 
1500℃高溫真空管式爐GSL-1500X
 
1800℃高溫真空管式爐GSL-1800X
 
1200℃三溫區(qū)可傾斜旋轉(zhuǎn)爐OTF-1200X-5L-R-III
 
混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z
 
德國小型渦輪分子泵EQ-PV-HVS


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